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PUMA WY 8000 A

Vakuum-Booster

Die leckdichten Leistungsoptimierer für Fein- und Hochvakuumanwendungen

Zuverlässig

Spezielle Wälzkoben zur Vermeidung von Pulver- und Partikelablagerungen, robuste Bauweise aus GGG40, leckdicht

Herausragende Leistung

Speziell entwickelt für strapazierende Anwendungen im Fein- und Hochvakuumbereich, einschließlich Halbleiteranwendungen mit Partikeln und Staub, ausgezeichneter volumetrischer Wirkungsgrad

Flexibel

Zuverlässige Leistung unter unterschiedlichen Betriebsbedingungen, steigert die Leistung aller Arten von Vorpumpen

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Flachbildschirmproduktion
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
Halbleiterproduktion
  • Hart
Solarindustrie
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)