COBRA DS 1200/1800 A/A X
Trockene Schrauben-Vakuumpumpen
Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse
Herausragende Leistung
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für Solar-, Flachbildschirm- und Halbleiteranwendungen sowie für beanspruchende Prozesse mit hohen Gastemperaturen, wie Ätzen und chemische Gasphasenabscheidung, hervorragende Partikelverträglichkeit, tantalbeschichtete Schraube für strapazierende Anwendungen
Effizient
Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, hoher Wasserstoffdurchsatz, geringer Energieverbrauch, variable Temperaturüberwachung
Kompakt
Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen, vibrationsarm
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
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Aufbereitung - Druckwechseladsorption
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Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
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Load-Lock-Kammern
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Organische Leuchtdiode (OLED)
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Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)
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Entgasung
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Mittel
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Hart
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Leicht
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Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)