COBRA DS 8162/8163 B/F
Bombas de vacío de tornillo en seco
La nueva generación de bombas de vacío secas para procesos exigentes
Alto rendimiento
Diseño de tornillo avanzado, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para procesos load lock y procesos de recubrimiento de alta capacidad
Eficientes
Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad, eficaz refrigeración del agua, gran capacidad de disolvente
Compactas
Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, bomba primaria y booster de vacío combinados en una bancada compacta, diseño modular
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Producción de pantallas planas
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Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
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Cámaras Load Lock
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Diodo orgánico de emisión de luz (OLED)
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Deposición física de vapor (PVD)
Producción de baterías de iones de litio
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Desgasificación
Producción de semiconductores
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Medio
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Sencillo