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  • Busch Vacuum Solutions, Dry screw vacuum pump , COBRA DS 3181 C

COBRA DS 3181 C

Bomba de vacío de tornillo de funcionamiento en seco

La nueva generación de bombas de vacío secas para procesos exigentes

Alto rendimiento

Diseño avanzado del tornillo, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para la deposición química de vapor, los tratamientos térmicos rápidos o la deposición de capas atómicas

Eficientes

Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad, eficaz refrigeración indirecta por agua

Compactas

Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, bomba primaria y booster de vacío combinados sobre una bancada compacta

Especificaciones técnicas

Mercados y aplicaciones

Manipulación de biogás
  • Refinado: adsorción por cambio de presión
Producción de pantallas planas
  • Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
  • Cámaras Load Lock
  • Diodo orgánico de emisión de luz (OLED)
  • Deposición física de vapor (PVD)
Producción de baterías de iones de litio
  • Desgasificación
Producción de semiconductores
  • Medio
  • Duro
  • Sencillo
Industria de la energía solar
  • Cámaras Load Lock
  • Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)

Accesorios

  • Disponible versión de procesamiento de polvo opcional