COBRA DS 2141 A
Bomba de vacío seca de tornillo
La nueva generación de bombas de vacío secas para procesos exigentes
Alto rendimiento
Diseño de tornillo avanzado, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, excelente capacidad de gestión del polvo, perfectas para aplicaciones de semiconductores, producción de paneles planos y aplicaciones de energía solar
Eficientes
Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad. eficaz refrigeración por agua indirecta, gran rendimiento de hidrógeno, control de temperatura variable, bajo nivel de vibración
Compactos
Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, panel de control integrado, bomba primaria y booster de vacío combinados sobre una bancada compacta
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Producción de pantallas planas
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Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
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Cámaras Load Lock
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Diodo orgánico de emisión de luz (OLED)
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Deposición física de vapor (PVD)
Producción de semiconductores
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Medio
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Duro
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Sencillo
Industria de la energía solar
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Deposición física de vapor (PVD)
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Laminación
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Colada de lingotes
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Cámaras Load Lock
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Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)