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COBRA BC 0101 G

Bomba de vacío de tornillo de funcionamiento en seco

La solución ideal para aplicaciones poco o medianamente exigentes de semiconductores

Alto rendimiento

Diseño de tornillo avanzado, construcción en forma de campana, tornillos autoequilibrados patentados, excelentes cualidades de funcionamiento, perfectas para tareas en las cámaras de load lock y transferencia, metrología, litografía, deposición física del vapor y recocido térmico rápido

Eficientes

Accionamiento con velocidad variable inteligente, coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, alto tiempo de actividad, refrigeración por agua directa

Compactas

Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, panel de control integrado

Especificaciones técnicas

Mercados y aplicaciones

Manipulación de biogás
  • Refinado: adsorción por cambio de presión
Producción de semiconductores
  • Sencillo