Den nye generation af tørtløbende vakuumpumper til krævende processer
Høj ydeevne
Avanceret skruedesign, fremragende driftsegenskaber, integreret vakuum booster, perfekt til opgaver med indføringssluser med høj kapacitet og i overfladebehandlingsprocesser
Effektiv
Lave ejeromkostninger, minimal vedligeholdelse, lange vedligeholdelsesintervaller, driftssikker, effektiv vandkøling, højt gennemløb af opløsningsmiddel
Kompakt
Praktisk design, direkte monteret, indkapslet motor, forpumpe og vakuum booster kombineret på en kompakt basisramme, modulært design
Tekniske specifikationer
Markeder og anvendelser
Produktion af fladskærme
-
Organisk lysdiode (OLED)
-
Fysisk dampaflejring (PVD)
-
Load lock chambers
-
Plasma-forbedret kemisk dampaflejring (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD))
Produktion af lithium-ionbatterier
-
Afgasning
Semicon-industri
-
Mellem
-
Lys