COBRA DS 5161–9161 B/F
Tørtløbende skruevakuumpumper
Den nye generation af tørtløbende vakuumpumper til krævende processer
Høj ydeevne
Avanceret skruedesign, fremragende driftsegenskaber, integreret vakuumbooster, perfekt til kemisk dampudfældning, hurtig termisk proces eller atomar lagdeponering
Effektiv
Lave ejerskabsomkostninger, minimal vedligehold, lange vedligeholdelsesintervaller, driftssikker, effektiv indirekte vandkøling, højt hydrogengennemløb
Kompakt
Praktisk design, direkte monteret, indkapslet motor
Tekniske specifikationer
Markeder og anvendelser
Biogashåndtering
-
Opgradering - adsorption af tryksving
Produktion af fladskærme
-
Organisk lysdiode (OLED)
-
Load lock chambers
-
Plasma-forbedret kemisk dampaflejring (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD))
-
Fysisk dampaflejring (PVD)
Lithium-ion batteri produktion
-
Afgasning
Semicon-industri
-
Mellem
-
Barsk
-
Lys
Solenergiindustrien
-
Plasma-forbedret kemisk dampaflejring (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD))