COBRA DS 3181 C
Tørtløbende skruevakuumpumpe
Den nye generation af tørtløbende vakuumpumper til krævende processer
Høj ydeevne
Avanceret skruedesign, fremragende driftsegenskaber, integreret vakuumbooster, perfekt til kemisk dampudfældning, hurtig termisk proces eller atomar lagdeponering
Effektiv
Lave ejeromkostninger, minimal vedligeholdelse, lange vedligeholdelsesintervaller, driftssikker, effektiv indirekte vandkøling
Kompakt
Praktisk design, direkte monteret, indkapslet motor, forpumpe og vakuum booster kombineret på en kompakt basisramme
Tekniske specifikationer
Markeder og anvendelser
Produktion af fladskærme
-
Plasma-forbedret kemisk dampaflejring (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD))
-
Load lock chambers
-
Organisk lysdiode (OLED)
-
Fysisk dampaflejring (PVD)
Produktion af lithium-ionbatterier
-
Afgasning
Semicon-industri
-
Mellem
-
Barsk
-
Lys
Solenergiindustrien
-
Load lock chambers
-
Plasma-forbedret kemisk dampaflejring (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD))
Tilbehør
- Valgfri pulverprocesversion tilgængelig