COBRA DS 2141 A
Tørtløbende skruevakuumpumpe
Den nye generation af tørtløbende vakuumpumper til krævende processer
Høj ydeevne
Avanceret skruedesign, fremragende driftsegenskaber, integreret vakuum booster, fantastisk pulverhåndtering, perfekt til semicon applikationer, produktion af fladskærme og solenergi applikationer
Effektiv
Lave ejerskabsomkostninger, minimal vedligehold, lange vedligeholdelsesintervaller, driftssikker, effektiv indirekte vandkøling, højt hydrogengennemløb, variabel temperaturkontrol, lavt vibrationsniveau
Kompakt
Praktisk design, direkte monteret, indkapslet motor, integreret kontrolpanel, forpumpe og vakuum booster kombineret på en kompakt basisramme
Tekniske specifikationer
Markeder og anvendelser
-
Plasma-forbedret kemisk dampaflejring (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD))
-
Load lock chambers
-
Organisk lysdiode (OLED)
-
Fysisk dampaflejring (PVD)
-
Mellem
-
Barsk
-
Lys
-
Fysisk dampaflejring (PVD)
-
Laminering
-
Blokstøbning
-
Load lock chambers
-
Plasma-forbedret kemisk dampaflejring (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD))