TORRI BD 0100–0600 A
Pompes à vide multi-étagées à lobes rotatifs
La solution compacte et économe en énergie pour les sas de chargement
Modulable
Temps d'évacuation des sas de chargement le plus court
Efficace
Consommation d'énergie extrêmement faible, maintenance minimale, temps de fonctionnement élevé
Compacte
Exceptionnellement petite et légère
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Fabrication de semi-conducteurs
-
Légère