de lekdichte prestatieverhogers voor midden- en hoogvacuümtoepassingen
Betrouwbaar
Speciaal rotorontwerp om afzet van poeder en deeltjes te voorkomen, robuuste constructie gemaakt van GGG40-materiaal, lekdicht
Uitstekende prestaties
Speciaal ontworpen voor veeleisende toepassingen in het midden- en hoogvacuümbereik, inclusief halfgeleiderprocessen met poeder en stof, uitstekend volumetrisch rendement
Flexibel
Betrouwbare prestaties onder zeer uiteenlopende bedrijfscondities, verbetert de prestaties van alle soorten voorpompen
Technische specificaties
Markten & toepassingen
Productie van flatscreens
-
Plasmageassisteerde afzetting van chemische dampen (PECVD)
Productie van halfgeleiders
-
Zwaar
Zonne-energiebranche
-
Plasmageassisteerde afzetting van chemische dampen (PECVD)