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PUMA WY 8000 A

Pompe booster

Les optimiseurs de performances étanches pour les applications à vide fin et poussé

Fiable

Conception spéciale des lobes pour éviter les dépôts de poudre et de particules, construction robuste en matériau GGG40, étanche

Haute performance

Spécialement conçu pour les applications difficiles dans la plage de vide fin et poussé, y compris les procédés de semi-conducteurs avec poudre et poussière, excellente efficacité volumétrique

Modulable

Performances fiables dans des conditions de fonctionnement variables, améliore les performances de tous les types de pompes primaires

Caractéristiques techniques

Marchés et applications

Fabrication d'écrans plats
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
Fabrication de semi-conducteurs
  • Lourde
Industrie de l'énergie solaire
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)