De nieuwe generatie droge vacuümpompen voor veeleisende processen
Uitstekende prestaties
Geavanceerd schroefontwerp, uitstekende loopprestaties, geïntegreerde vacuümbooster, ideaal voor chemical vapor deposition, rapid thermal processing of atomic layer deposition
Efficiënt
Lage gebruikskosten, minimaal onderhoud, lange onderhoudsintervallen, efficiënte indirecte waterkoeling
Compact
Compact ontwerp, direct gemonteerde canned motor, voorpomp en vacuümbooster gecombineerd op compact basisframe
Technische specificaties
Markten & toepassingen
Handling van biogas
-
Upgraden - adsorptie van drukverschillen
Productie van flatscreens
-
Plasmageassisteerde afzetting van chemische dampen (PECVD)
-
Load-lock-kamers
-
Organische lichtgevende diode (oled)
-
Fysieke dampafzetting (PVD)
Productie van lithium-ion batterijen
-
Ontgassen
Productie van halfgeleiders
-
Middelzwaar
-
Zwaar
-
Licht
Zonne-energiebranche
-
Load-lock-kamers
-
Plasmageassisteerde afzetting van chemische dampen (PECVD)
Accessoires
- Optionele versie voor de verwerking van poeder beschikbaar