Productie van halfgeleiders met vacuüm

Busch vacuümpompen worden gebruikt bij toonaangevende halfgeleiderfabrieken en staan bekend om hun betrouwbaarheid. Het resultaat van vele jaren luisteren naar de behoeften van onze partners in de halfgeleiderbranche en hun procesvereisten.

Wij begeleiden u bij het vinden van de perfecte oplossing voor uw procesvereisten.

Halfgeleiderservices

ARPQP
De nieuwe revisieservice voor vacuümpompen van Busch. Speciaal voor de markt van halfgeleiders en flatscreens.
Meer informatie
Volledig subfab-beheer
Holistische serviceoplossing op locatie voor een veilige en stabiele productieomgeving in uw halfgeleiderfabriek.
Meer informatie
Semiconductor service locations
Find your semiconductor service location.
Learn more

ONZE OPLOSSINGEN VOOR DE PRODUCTIE VAN HALFGELEIDERS

Vacuümoplossingen van Busch zijn de vertrouwde keuze voor alle halfgeleidertoepassingen. Waarbij hoge betrouwbaarheid, lage gebruikskosten en communicatie met slimme halfgeleidertools een absolute must zijn. Van load-lock-kamers tot de zwaarste deeltjesgenererende processen. Wij hebben onze vacuümsystemen geleverd aan toonaangevende fabrikanten van halfgeleiders wereldwijd. En met single-source ondersteuning op locatie nadien.

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
Licht (load-lock- en transferkamers, metrologie, lithografie)	✓	✓	✓	✓
Middelzwaar (PVD-processen, PVD-voorreiniging, RTA, strippen/ashen, oxide-etsen, siliciumetsen)	✓		✓	✓
Zwaar (metaaletsen, implantaatbron, HDP, CVD, RTP, epitaxie, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓

COBRA
Droge schroefvacuümpompen
Meer informatie
TORRI
Meertraps draaizuigervacuümpompen
Meer informatie
VACTEST
Vacuümmeetapparatuur
Meer informatie
TAPIR
Lektesters
Meer informatie

Case study’s

HULP NODIG BIJ HET VINDEN VAN DE JUISTE OPLOSSING?