Productie van halfgeleiders met vacuüm

Ontdek de service-oplossingen voor halfgeleiders van de Busch Group

De Busch Group is wereldleider op het gebied van vacuümtechnologie. Met twee sterke merken: Busch Vacuum Solutions en Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Samen bieden zij voor de halfgeleiderindustrie een uitgebreid pakket vacuümoplossingen en services op maat.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions heeft gespecialiseerde expertise op het gebied van hoog- en ultrahoge vacuüm en lekdetectie. Met name voor halfgeleidertoepassingen. Met zijn jarenlange ervaring in de halfgeleiderindustrie biedt Pfeiffer de best mogelijke service. Of het nu gaat om een complete revisie van vacuümpompen of volledig sub-fab-beheer. Bij Pfeiffer zijn je halfgeleiderprocessen in veilige handen.

Onze Oplossingen Voor de Productie Van Halfgeleiders

Vacuümoplossingen van Busch zijn de vertrouwde keuze voor alle halfgeleidertoepassingen. Waarbij hoge betrouwbaarheid, lage gebruikskosten en communicatie met slimme halfgeleidertools een absolute must zijn. Van load-lock-kamers tot de zwaarste deeltjesgenererende processen. Wij hebben onze vacuümsystemen geleverd aan toonaangevende fabrikanten van halfgeleiders wereldwijd. En met single-source ondersteuning op locatie nadien.