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COBRA Semicon

Bombas de vacío de tornillo de funcionamiento en seco

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Las bombas de vacío de tornillo de funcionamiento en seco COBRA Semicon son la opción ideal para todos los procesos exigentes en la producción de células fotovoltaicas, pantallas planas, semiconductores y varias aplicaciones de recubrimiento industriales.

El principio de funcionamiento de la COBRA Semicon se basa en nuestra avanzada tecnología de tornillo. Gracias a sus tornillos autoequilibrantes patentados, establecen nuevos estándares en términos de eficiencia.

COBRA Semicon combina altos rendimientos con una gran tolerancia al vapor y partículas. Por ello, el medio vehiculado con partículas se puede evacuar sin problemas.

Su principio de funcionamiento sin aceite y sin contacto asegura unos requisitos de mantenimiento bajos, unos costes de funcionamiento bajos y un largo ciclo de vida.

Las dimensiones compactas de la COBRA Semicon facilitan la instalación, incluso en espacios reducidos.

Principio de funcionamiento

En el interior de las bombas de vacío de tornillo de funcionamiento en seco COBRA Semicon, dos rotores en forma de tornillo giran en direcciones opuestas. El medio bombeado queda atrapado entre las cámaras del cilindro y los tornillos. Allí, se comprime y se transporta hacia la salida. Durante este proceso, los rotores no entran en contacto entre sí ni con el cilindro.

Descubra nuestra serie COBRA Semicon

  • cobra_ba_0100_c
    COBRA BA

    La solución plug&pump refrigerada por aire

    Más información
  • cobra_bc_1000_f_1
    COBRA BC

    La solución ideal para aplicaciones de semiconductor con una exigencia baja o media

    Más información
  • cobra_ds_1200_a
    COBRA DS

    La nueva generación de bombas de vacío de funcionamiento en seco para procesos exigentes

    Más información

COBRA BA

cobra_ba_0100_c
La solución plug&pump refrigerada por aire

  • Diseño avanzado del tornillo
  • Principio de funcionamiento en seco y sin contacto
  • Diseño exclusivo de «rodamiento sin contacto»
  • Construcción en voladizo
  • Diseño compacto
  • Eficaz refrigeración por aire
  • Variador de frecuencia opcional

Ventajas de la serie COBRA BA

Las COBRA BA son bombas de vacío de tornillo y funcionamiento en seco probadas que se adaptan perfectamente a procesos exigentes, como la esterilización, la metalurgia, la recuperación de gases o las aplicaciones de horno.

El diseño de tornillo autoequilibrado patentado garantiza unos niveles de vibración mínimos y un funcionamiento silencioso.

Las bombas de vacío COBRA BA tienen un diseño en forma de campana: el doble rotor de paso variable se monta en voladizo solo en el lado motor. Gracias a su diseño exclusivo de «rodamiento sin contacto», no se requieren rodamientos en el lado de aspiración. Por tanto, el medio bombeado no entra en contacto con los rodamientos. Esto garantiza una generación de vacío limpia y permite recuperar totalmente el medio bombeado.

Las bombas de vacío COBRA BA se caracterizan por su eficiente refrigeración por aire.

Su motor encapsulado montado directamente hace que las dimensiones de la serie COBRA BA sean muy compactas.

Todos los productos COBRA BA

  • COBRA BA 0100 C
    COBRA BA 0100 C

    Vacío límite:
    0,01 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    85 m³/h

    Leer más

COBRA BC

cobra_bc_1000_f
La solución ideal para aplicaciones de semiconductor con una exigencia baja o media

  • Diseño avanzado del tornillo
  • Principio de funcionamiento en seco y sin contacto
  • Diseño exclusivo de «rodamiento sin contacto»
  • Construcción en voladizo
  • Diseño compacto adaptable a cada instalación
  • Refrigeración por agua directa
  • Protocolo de comunicación totalmente abierto

Vídeo: Cómo funcionan las bombas de vacío COBRA BC

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Ventajas de la serie COBRA BC

Las bombas de vacío COBRA BC son perfectamente aptas para realizar tareas en cámaras load lock y de transferencia. Entre otras aplicaciones de estas bombas figuran la metrología, la litografía, la deposición física de vapor, el recocido rápido y el grabado de silicio.

El diseño de tornillo autoequilibrado patentado garantiza unos niveles de vibración mínimos y un funcionamiento silencioso.

Los tornillos de las bombas de vacío COBRA BC están fabricados mediante colado monopieza para evitar huecos. Esto hace imposible la entrada de fluidos o partículas del proceso. Por tanto, se evitan también la corrosión y la deposición.

Las bombas de vacío COBRA BC tienen un diseño en forma de campana: el doble rotor de paso variable se monta en voladizo solo en el lado motor. Gracias a su diseño exclusivo de «rodamiento sin contacto», no se requieren rodamientos en el lado de aspiración. Por tanto, el medio bombeado no entra en contacto con los rodamientos. Esto garantiza una generación de vacío limpia y permite recuperar totalmente el medio bombeado.

Las bombas de vacío de la serie COBRA BC utilizan una eficiente refrigeración por agua directa. De este modo, se mantiene una distribución uniforme de la temperatura en todo el cuerpo de la bomba. Además, se garantiza una estabilidad térmica durante el proceso.

El protocolo de comunicación totalmente abierto (Modbus TCP-IP) permite controlar todas sus funcionalidades. Esto incluye los modos inactivos y el accionamiento de velocidad variable. El protocolo de comunicación puede adaptarse fácilmente a un protocolo de red específico usando componentes de interfaz estándar.

Un motor sellado montado directamente permite que la serie COBRA BC tenga unas dimensiones muy compactas. Gracias a su diseño adaptable a cada instalación, pueden reacondicionarse de forma fácil y rápida en sistemas existentes.

Todos los productos COBRA BC

  • COBRA BC 0100/0200 F
    COBRA BC 0100/0200 F

    Vacío límite:
    0,01 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

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  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Vacío límite:
    0,005 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

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  • COBRA BC 0101 G
    COBRA BC 0101 G

    Vacío límite:
    0,01 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    100 m³/h

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  • COBRA BC 0600 F
    COBRA BC 0600 F

    Vacío límite:
    0,003 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    520 m³/h

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  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Vacío límite:
    0,001 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    530 m³/h

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  • COBRA BC 0601–1200 A/G
    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Vacío límite:
    0,003 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

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  • COBRA BC 1000/2000 F
    COBRA BC 1000/2000 F

    Vacío límite:
    0,003 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

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  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency
    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Vacío límite:
    0,001 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    955 m³/h

    Leer más

COBRA DS

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La nueva generación de bombas de vacío de funcionamiento en seco para procesos exigentes

  • Diseño avanzado del tornillo
  • Principio de funcionamiento en seco y sin contacto
  • Excelente tolerancia al polvo
  • Refrigeración eficaz por agua indirecta
  • Diseño compacto adaptable a cada instalación
  • Alto caudal para la descarga de hidrógeno
  • Motor de alta eficiencia
  • Disponibilidad de tamaños con booster de vacío integrado

Ventajas de la serie COBRA DS

Las bombas de vacío de tornillo de funcionamiento en seco COBRA DS son los generadores de vacío ideales para procesos exigentes, incluso en condiciones que requieren un elevado caudal de hidrógeno. Por esta razón, son perfectas para la deposición química de vapor, los tratamientos térmicos rápidos o la deposición de capas atómicas.

Los diferentes tamaños de la serie COBRA DS cuentan con un booster de vacío integrado de alto rendimiento. Esta combinación de bomba primaria y booster de vacío permite conseguir caudales más altos y vacíos límite.

El diseño de tornillo autoequilibrado patentado garantiza una excelente manipulación de las partículas de polvo y un alto tiempo de actividad.

Los tornillos de las bombas de vacío COBRA DS están fabricados mediante colado monopieza para evitar huecos. Esto hace imposible la entrada de fluidos o partículas del proceso. Por tanto, se evitan también la corrosión y la deposición.

Las bombas de vacío de la serie COBRA DS usan una eficaz refrigeración por agua indirecta. Como resultado, se puede controlar la distribución de la temperatura por todo el cuerpo de la bomba. Es posible responder a las variaciones del proceso en cualquier momento.

Gracias a su diseño adaptable a cada instalación, las COBRA DS pueden reacondicionarse de forma fácil y rápida en sistemas existentes.

Todos los productos COBRA DS

  • COBRA DS 0080/0160 G
    COBRA DS 0080/0160 G

    Vacío límite:
    0,03 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

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  • COBRA DS 0600 E
    COBRA DS 0600 E

    Vacío límite:
    0,01 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    600 m³/h

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  • COBRA DS 0700–2000 G
    COBRA DS 0700–2000 G

    Vacío límite:
    0,003 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

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  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F
    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    Vacío límite:
    0,001 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

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  • COBRA DS 8162/8163 B/F
    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Vacío límite:
    0,001 hPa (mbar)
    Caudal nominal:
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

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