Busch 推出 Premium Efficiency 级产品
现代工业对于能源效率有着极高要求, 为了积极响应这一业界满足这一需求, Busch 推出全新的 Premium Efficiency 级系列真空泵和真空系统解决方案。Busch Premium Efficiency 系列是将尖端技术与运行特性的完美结合, 为能效树立起新的标杆。
Premium Efficiency 是一种全面综合的解决方案, 涵盖能耗, 效, 可靠性, 服务及可持续性诸多优势因素。
我们的 Premium Efficiency 产品级具有以下特性:
- 节省能耗高达 40%
- 集成式技术平台(采用 Busch 二次压缩节能技术),同类产品中的最佳能源效率
- 高可靠性、低维护量 - Busch 支持服务提供坚强后盾
- 降低产品使用周期成本
- 降低"环境足迹"降低碳排放,确保环境的可持续性发展
总效能 - 我们的全方位解决方案
选择我们 Premium Efficiency 级真空泵,您拥有的不仅仅是一流的效能与产品可靠性,还能获取从我们在真空系统领域的丰富经验及 Busch 全方位现场和远程咨询服务。
COBRA BC Premium Efficiency 级系列
COBRA BC - 应用于半导体工业的真空泵和真空系统解决方案 - 将是首款 Premium Efficiency 级系列真空泵与真空系统解决方案。Premium Efficiency 技术技术也将逐渐延伸到其它产品系列。
半导体生产的效率的新高度 - COBRA BC Premium Efficiency
- 用于半导体制造进出片室(Load-Lock)的理想之选, 无污染
- 物理气相沉积(PVD)- "溅射"或"溅射沉积"
- 计量 - 半导体制造工艺的控制和质量保证
- 光蚀刻(半导体光刻涂敷刻蚀工艺)
生产绿色产品 - Busch 助您一臂之力