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TORRI BD 0100–0600 A

多級魯式轉子真空泵浦

Flexible
Shortest pump-down time for load lock chambers
Efficient
Extremely low energy consumption, minimal maintenance, high uptime
Compact
Exceptionally small and light-weight

技術說明

製圖 TORRI BD 0100–0600 A
TORRI BD 0100–0600 A
Pumping speed

Air at 20 °C. Tolerance: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Pumping speed
技術資料 BD 0100 A BD 0300 A BD 0600 A
額定抽速 100 m³/h 600 m³/h
極限壓力 0.01 hPa (mbar) 0.001 hPa (mbar) 0.001 hPa (mbar)
前置真空泵浦馬達額定功率 2.2 kW 2.2 kW 2.2 kW
魯式泵浦馬達額定功率 - 2.2 kW 2.2 kW
前级泵电机额定转速 5500 min-1 5500 min-1 5500 min-1
罗茨泵电机额定转速 - 3500 min-1 7000 min-1
極限壓力時的功率消耗 0.4 kW 0.5 kW 0.6 kW
噪音(ISO 2151) < 60 dB(A) < 60 dB(A) < 60 dB(A)
用水量 min. 1.0 l/min min. 2.0 l/min min. 2.0 l/min
重量(約) 60 kg 120 kg 120 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 450 x 230 x 275 mm 530 x 230 x 520 mm 530 x 230 x 520 mm
進氣口/排氣口 DN 50 KF / DN 25 KF DN 80 KF / DN 25 KF DN 80 KF / DN 25 KF
Nominal pumping speed 300 m³/h
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TORRI BD 0100–0600 A

多級魯式轉子真空泵浦

Flexible
Shortest pump-down time for load lock chambers
Efficient
Extremely low energy consumption, minimal maintenance, high uptime
Compact
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技術說明

製圖
TORRI BD 0100–0600 A
TORRI BD 0100–0600 A
Pumping speed

Air at 20 °C. Tolerance: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Pumping speed
技術資料 BD 0100 A BD 0300 A BD 0600 A
額定抽速 100 m³/h 600 m³/h
極限壓力 0.01 hPa (mbar) 0.001 hPa (mbar) 0.001 hPa (mbar)
前置真空泵浦馬達額定功率 2.2 kW 2.2 kW 2.2 kW
魯式泵浦馬達額定功率 - 2.2 kW 2.2 kW
前级泵电机额定转速 5500 min-1 5500 min-1 5500 min-1
罗茨泵电机额定转速 - 3500 min-1 7000 min-1
極限壓力時的功率消耗 0.4 kW 0.5 kW 0.6 kW
噪音(ISO 2151) < 60 dB(A) < 60 dB(A) < 60 dB(A)
用水量 min. 1.0 l/min min. 2.0 l/min min. 2.0 l/min
重量(約) 60 kg 120 kg 120 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 450 x 230 x 275 mm 530 x 230 x 520 mm 530 x 230 x 520 mm
進氣口/排氣口 DN 50 KF / DN 25 KF DN 80 KF / DN 25 KF DN 80 KF / DN 25 KF
Nominal pumping speed 300 m³/h

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