Screw Vacuum Pump for Arc PVD Coating
久經考驗的技術，行之有效的設計 — 選擇最佳解決方案
TORRI BD 0100–0600 A
多級魯式轉子真空泵浦
Flexible
Shortest pump-down time for load lock chambers
Efficient
Extremely low energy consumption, minimal maintenance, high uptime
Compact
Exceptionally small and light-weight
技術說明
製圖 TORRI BD 0100–0600 A
Pumping speed
Air at 20 °C. Tolerance: ± 10%
50 Hz 60 Hz
| 技術資料 | BD 0100 A | BD 0300 A | BD 0600 A |
|---|---|---|---|
| 額定抽速 | 100 m³/h | 600 m³/h | |
| 極限壓力 | 0.01 hPa (mbar) | 0.001 hPa (mbar) | 0.001 hPa (mbar) |
| 前置真空泵浦馬達額定功率 | 2.2 kW | 2.2 kW | 2.2 kW |
| 魯式泵浦馬達額定功率 | - | 2.2 kW | 2.2 kW |
| 前级泵电机额定转速 | 5500 min-1 | 5500 min-1 | 5500 min-1 |
| 罗茨泵电机额定转速 | - | 3500 min-1 | 7000 min-1 |
| 極限壓力時的功率消耗 | 0.4 kW | 0.5 kW | 0.6 kW |
| 噪音（ISO 2151） | < 60 dB(A) | < 60 dB(A) | < 60 dB(A) |
| 用水量 | min. 1.0 l/min | min. 2.0 l/min | min. 2.0 l/min |
| 重量(約) | 60 kg | 120 kg | 120 kg |
| 尺寸（長 x 寬 x 高） | 450 x 230 x 275 mm | 530 x 230 x 520 mm | 530 x 230 x 520 mm |
| 進氣口/排氣口 | DN 50 KF / DN 25 KF | DN 80 KF / DN 25 KF | DN 80 KF / DN 25 KF |
| Nominal pumping speed | 300 m³/h |
TORRI BD 0100–0600 A
多級魯式轉子真空泵浦
Flexible
Shortest pump-down time for load lock chambers
Efficient
Extremely low energy consumption, minimal maintenance, high uptime
Compact
Exceptionally small and light-weight
技術說明
製圖
TORRI BD 0100–0600 A
Pumping speed
Air at 20 °C. Tolerance: ± 10%
50 Hz
60 Hz
| 技術資料 | BD 0100 A | BD 0300 A | BD 0600 A |
|---|---|---|---|
| 額定抽速 | 100 m³/h | 600 m³/h | |
| 極限壓力 | 0.01 hPa (mbar) | 0.001 hPa (mbar) | 0.001 hPa (mbar) |
| 前置真空泵浦馬達額定功率 | 2.2 kW | 2.2 kW | 2.2 kW |
| 魯式泵浦馬達額定功率 | - | 2.2 kW | 2.2 kW |
| 前级泵电机额定转速 | 5500 min-1 | 5500 min-1 | 5500 min-1 |
| 罗茨泵电机额定转速 | - | 3500 min-1 | 7000 min-1 |
| 極限壓力時的功率消耗 | 0.4 kW | 0.5 kW | 0.6 kW |
| 噪音（ISO 2151） | < 60 dB(A) | < 60 dB(A) | < 60 dB(A) |
| 用水量 | min. 1.0 l/min | min. 2.0 l/min | min. 2.0 l/min |
| 重量(約) | 60 kg | 120 kg | 120 kg |
| 尺寸（長 x 寬 x 高） | 450 x 230 x 275 mm | 530 x 230 x 520 mm | 530 x 230 x 520 mm |
| 進氣口/排氣口 | DN 50 KF / DN 25 KF | DN 80 KF / DN 25 KF | DN 80 KF / DN 25 KF |
| Nominal pumping speed | 300 m³/h |
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