久經考驗的技術,行之有效的設計 — 選擇最佳解決方案

COBRA DS 5161-9161 A/B/F

螺杆真空泵

High performance
Advanced screw design, excellent running qualities, integrated vacuum booster, perfectly suited for chemical vapor deposition, rapid thermal processing or atomic layer deposition
Efficient
Low cost of ownership, minimal maintenance, long service intervals, high uptime, efficient indirect water cooling, high hydrogen throughput
Compact
Fit-in-place design, directly mounted canned motor

技術說明

製圖 COBRA DS 5161-9161 A/B/F
COBRA DS 5161-9161 A/B/F
Pumping speed

Air at 20 °C. Tolerance: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Pumping speed
技術資料 DS 5161 A DS 8161 F DS 9161 B
額定抽速 4300 m³/h 6000 m³/h 6160 m³/h
極限壓力 0.001 (1·10-3) hPa (mbar) 0.001 hPa (mbar) 0.001 (1·10-3) hPa (mbar)
前置真空泵浦馬達額定功率 15 kW
魯式泵浦馬達額定功率 15 kW 20 kW 20 kW
前级泵电机额定转速 3600 kW
罗茨泵电机额定转速 5400 min-1
前級泵浦馬達額定功率 15 kW 15 kW
極限壓力/怠速模式下的功率消耗 12.5 kW 13 min-1 13 kW
前級泵浦馬達額定轉速 3600 min-1 3600 min-1
魯式泵浦馬達額定轉速 3600 min-1 3600 min-1
噪音(ISO 2151) < 75 dB(A) < 75 dB(A) < 75 dB(A)
用水量 min. 10 l/min min. 13 l/min min. 11 l/min
氮氣消耗 0 – 200 l/min 0 - 200 l/min 0 – 200 l/min
重量(約) 1440 kg 1350 kg 1800 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 1550 x 723 x 1504 mm 1441 x 627 x 1100 mm 1572 x 810 x 1860 mm
進氣口/排氣口 DN 250 / DN 63 DN 200 / DN 63 DN 200 / DN 63
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COBRA DS 5161-9161 A/B/F

螺杆真空泵

High performance
Advanced screw design, excellent running qualities, integrated vacuum booster, perfectly suited for chemical vapor deposition, rapid thermal processing or atomic layer deposition
Efficient
Low cost of ownership, minimal maintenance, long service intervals, high uptime, efficient indirect water cooling, high hydrogen throughput
Compact
Fit-in-place design, directly mounted canned motor

技術說明

製圖
COBRA DS 5161-9161 A/B/F
COBRA DS 5161-9161 A/B/F
Pumping speed

Air at 20 °C. Tolerance: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Pumping speed
技術資料 DS 5161 A DS 8161 F DS 9161 B
額定抽速 4300 m³/h 6000 m³/h 6160 m³/h
極限壓力 0.001 (1·10-3) hPa (mbar) 0.001 hPa (mbar) 0.001 (1·10-3) hPa (mbar)
前置真空泵浦馬達額定功率 15 kW
魯式泵浦馬達額定功率 15 kW 20 kW 20 kW
前级泵电机额定转速 3600 kW
罗茨泵电机额定转速 5400 min-1
前級泵浦馬達額定功率 15 kW 15 kW
極限壓力/怠速模式下的功率消耗 12.5 kW 13 min-1 13 kW
前級泵浦馬達額定轉速 3600 min-1 3600 min-1
魯式泵浦馬達額定轉速 3600 min-1 3600 min-1
噪音(ISO 2151) < 75 dB(A) < 75 dB(A) < 75 dB(A)
用水量 min. 10 l/min min. 13 l/min min. 11 l/min
氮氣消耗 0 – 200 l/min 0 - 200 l/min 0 – 200 l/min
重量(約) 1440 kg 1350 kg 1800 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 1550 x 723 x 1504 mm 1441 x 627 x 1100 mm 1572 x 810 x 1860 mm
進氣口/排氣口 DN 250 / DN 63 DN 200 / DN 63 DN 200 / DN 63

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