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COBRA DS 1200/1800 A

螺杆真空泵

高性能
先进的螺杆设计、卓越的运行品质、集成的罗茨泵,完美适用于太阳能、平板和半导体应用,以及需要高温气体的严苛工艺,如刻蚀和化学气相沉积,极佳的粉末处理能力配合 tantal 涂层的螺杆使其更适用于众多严苛应用
高效
成本低、维护工作量少、保养周期及正常运行时间长、抽氢能力强、能耗低、可变温控制
结构紧凑
一体化设计,罐式电机、前级泵和罗茨泵直接安装在紧凑的基架上,振动值低

技術說明

製圖 COBRA DS 1200 A
COBRA DS 1200 A
抽气速率

空气温度为 20°C 时的公差:± 10%

50 Hz 60 Hz
抽气速率
技術資料 COBRA DS 1200 A COBRA DS 1800 A
額定抽速 1200 m³/h 1700 m³/h
極限壓力 0.003 hPa (mbar) 0.003 hPa (mbar)
前置真空泵浦馬達額定功率 4.0 / 4.4 kW 4.4 kW
魯式泵浦馬達額定功率 4.0 kW 4.0 kW
前级泵电机额定转速 3000 / 3600 min-1 5100 min-1
罗茨泵电机额定转速 4800 min-1 5400 min-1
噪音(ISO 2151) < 62 dB(A) < 62 dB(A)
用水量 7.0 – 8.0 l/min 7.0 - 8.0 l/min
氮氣消耗 0 – 75 l/min 0 - 75 l/min
重量(約) 500 kg 700 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 1073 x 426 x 740 mm 1073 x 426 x 750 mm
進氣口/排氣口 DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
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COBRA DS 1200/1800 A

螺杆真空泵

高性能
先进的螺杆设计、卓越的运行品质、集成的罗茨泵,完美适用于太阳能、平板和半导体应用,以及需要高温气体的严苛工艺,如刻蚀和化学气相沉积,极佳的粉末处理能力配合 tantal 涂层的螺杆使其更适用于众多严苛应用
高效
成本低、维护工作量少、保养周期及正常运行时间长、抽氢能力强、能耗低、可变温控制
结构紧凑
一体化设计,罐式电机、前级泵和罗茨泵直接安装在紧凑的基架上,振动值低

技術說明

製圖
COBRA DS 1200 A
COBRA DS 1200 A
抽气速率

空气温度为 20°C 时的公差:± 10%

50 Hz
60 Hz
抽气速率
技術資料 COBRA DS 1200 A COBRA DS 1800 A
額定抽速 1200 m³/h 1700 m³/h
極限壓力 0.003 hPa (mbar) 0.003 hPa (mbar)
前置真空泵浦馬達額定功率 4.0 / 4.4 kW 4.4 kW
魯式泵浦馬達額定功率 4.0 kW 4.0 kW
前级泵电机额定转速 3000 / 3600 min-1 5100 min-1
罗茨泵电机额定转速 4800 min-1 5400 min-1
噪音(ISO 2151) < 62 dB(A) < 62 dB(A)
用水量 7.0 – 8.0 l/min 7.0 - 8.0 l/min
氮氣消耗 0 – 75 l/min 0 - 75 l/min
重量(約) 500 kg 700 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 1073 x 426 x 740 mm 1073 x 426 x 750 mm
進氣口/排氣口 DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF

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