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COBRA DS 0600 E

乾式螺旋式真空泵浦

適用于高要求製程的新一代乾式真空泵浦

性能卓越

先進的螺旋式設計,卓越的運行品質,非常適用於化學氣相沉積、快速熱處理或原子層沉積應用

高效

擁有成本低,維護少,保養間隔長,可長效運行,高效水冷卻,高氫氣輸送量

結構精巧

密閉式設計,直接安裝的密閉式馬達

技術規範

市場和應用

沼氣處理
  • 提純 - 變壓吸附
平板顯示器生產
  • 等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)
  • Load lock 腔體
  • 有機發光二極體 (OLED)
  • 物理氣相沉積 (PVD)
鋰離子電池生產
  • 脫氣
半導體生產
  • 中型
  • 嚴苛
  • 輕型
太陽能發電行業
  • 模鑄
  • 等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)

配件

  • 適用于嚴苛應用的 Tantal 塗層