適用于高要求製程的新一代乾式真空泵浦
性能卓越
先進的螺旋式設計，鐘形懸臂結構，榮獲專利的自平衡螺桿，卓越的運行品質，集成真空助力器，非常適用於 load lock 和傳送腔體等任務
高效
擁有成本低，維護少，保養間隔長，可長效運行，高效水冷卻，高氫氣輸送量
結構精巧
密閉式設計，直接安裝的密閉式馬達
技術規範
市場和應用
沼氣處理
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提純 - 變壓吸附
平板顯示器生產
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等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)
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Load lock 腔體
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有機發光二極體 (OLED)
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物理氣相沉積 (PVD)
鋰離子電池生產
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脫氣
半導體生產
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中型
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嚴苛
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輕型
太陽能發電行業
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等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)