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COBRA BC 0101 G

乾式螺旋式真空泵浦

適用於輕型到中型半導體應用的理想解決方案

性能卓越

先進的螺旋式設計,鐘形懸臂結構,榮獲專利的自平衡螺桿,卓越的運行品質,非常適用於 load lock 和傳送腔體、度量衡、光刻、物理氣相沉積以及快速熱退火等任務

高效

最新的 Busch VacBoost 技術,擁有成本低,維護少,可長效運行,直接水冷卻,智慧怠速模式

結構精巧

密閉式設計,直接安裝的密閉式馬達

技術規範

市場和應用

沼氣處理
  • 提純 - 變壓吸附
半導體生產
  • 輕型