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  • cobra_ds_5161_9161_a

COBRA DS 5161–9161 A/B/F

螺旋轉子

適用于高要求製程的新一代乾式真空泵浦

性能卓越

先進的螺旋式設計,卓越的運行品質,集成真空助力器,非常適用於化學氣相沉積、快速熱處理或原子層沉積應用

高效

擁有成本低,維護少,保養間隔長,可長效運行,高效水冷卻,高氫氣輸送量

結構精巧

密閉式設計,直接安裝的密閉式馬達

技術規範

市場和應用

平板顯示器生產
  • 等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)
  • 有機發光二極體 (OLED)
  • Load lock 腔體
  • 物理氣相沉積 (PVD)
冶金
  • 塗層
半導體生產
  • 嚴苛
太陽能發電行業
  • 等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)