適用于高要求製程的新一代乾式真空泵浦
性能卓越
先進的螺旋式設計，卓越的運行品質，集成真空助力器，非常適用於太陽能、平板顯示器、半導體應用及使用高溫氣體的嚴苛製程，例如蝕刻和 CVD，可完美處理粉末質材料，適用于嚴苛應用的 Tantal 鍍層螺杆
高效
擁有成本低，維護少，保養間隔長，可長效運行，高氫氣輸送量，低能耗，變溫控制
結構精巧
密閉式設計，直接安裝的密閉式馬達，底泵浦和真空助力器組合安裝於底座上，低振動水準
技術規範
市場和應用
平板顯示器生產
-
等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)
-
Load lock 腔體
-
有機發光二極體 (OLED)
-
物理氣相沉積 (PVD)
鋰離子電池生產
-
脫氣
半導體生產
-
中型
-
嚴苛
-
輕型
太陽能發電行業
-
等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)