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COBRA BC 0600 F

螺旋轉子

適用於輕型到中型半導體應用的理想解決方案

性能卓越

先進的螺旋式設計,鐘形懸臂結構,榮獲專利的自平衡螺桿,卓越的運行品質,集成真空助力器,非常適用於 load lock 和傳送腔體、度量衡、光刻、物理氣相沉積以及快速熱退火等任務

高效

擁有成本低,維護少,保養間隔長,可長效運行,直接水冷卻

結構精巧

密閉式設計,直接安裝的密閉式馬達

技術規範

市場和應用

冶金
  • 塗層
半導體生產
  • 中型