就塗層製程而言,真空技術的應用體現在哪些方面?
在許多塗層製程中(例如:金屬、塑膠或玻璃以蒸汽形態沉積),真空技術扮演著決定性的作用。在很多情況下,離開真空,就無法實現這些製程。一般在製程開始之初,對腔室施加中度或高度真空,以便真空排氣,再抽除反應氣體或者氣化固體原材料。
這些塗層製程都有一個共同的要求:腔室必須保持完全符合塗層製程要求的中度或高度真空。這些塗層製程有助於改變材料的表面特徵,例如硬度或耐腐蝕性。此外,真空鍍膜也可以改善材料的附著性或濕潤性,或者讓材料表面保持永久疏水性或親水性。
我們的真空系統可以為以真空為基礎的塗層製程量身定制。
Busch 的哪些真空解決方案尤其適合塗層製程?
我們提供大量不同的塗層製程真空解決方案,除了獨立式真空泵浦,也供應全套真空系統。
COBRA 螺旋轉子真空泵浦特別適用於塗層製程,實踐證明,COBRA 螺旋轉子真空泵浦結合魯式真空泵浦是中度真空鍍膜應用的標準解決方案。
我們提供各種型號的變距 COBRA 螺旋轉子真空泵浦和魯式真空泵浦,使真空系統的設計完全達到塗層製程的要求。如果需要高度真空,我們有 Turbo 渦輪分子真空泵浦和 Rangu 擴散真空泵浦,將這類泵浦與前級泵浦組合即可滿足塗層製程要求。
Busch 真空技術在塗層製程中的應用範例:
- 物理氣相沉積(PVD)
- 化學氣相沉積(CVD)
- 等離子增強沉積
- 金屬鍍膜