Turbomolekylära vakuumpumpar fungerar enligt turbinprincipen. Snabbt snurrande rotorblad roterar mellan statorbladen. Dessa gör att impulser skickas till de utspridda gaspartiklarna inuti vakuumpumpen, som i sin tur ger upphov till ett kontrollerat gasflöde från vakuumpumpens intag till dess utlopp. För att skapa denna rörelsemängd når rotorerna en periferihastighet på
> 30 000 min-1.
Det integrerade högtryckssteget medger ett högre förvakuum och följaktligen mindre förpumpar och ett effektivare vakuumsystem.
Det permanent insmorda kullagret ökar livslängden till mer än
200 000 drifttimmar.
Utmärkelsen Busch Innovation in Vacuum Award Tilldelas Dilo