COBRA DS 8162/8163 B/F
Torra skruvvakuumpumpar
den nya generationen torrgående vakuumpumpar för krävande processer
Hög kapacitet
Avancerad skruvteknik, perfekta driftkvaliteter, integrerad vakuumbooster, perfekt lämpade för ”load lock”- och lamineringsprocesser med hög kapacitet
Effektiv
Låg ägandekostnad, minimalt underhåll, långa serviceintervall, hög tillgänglighet, effektiv vattenkylning, högt lösningsgenomflöde
Kompakt
Platsbesparande design, direktmonterad kapslad motor, förpump och vakuumbooster kombinerade på en kompakt ram, modulär design
Tekniska specifikationer
Marknader och tillämpningar
Biogashantering
-
Uppgradering - tryckväxlingsadsorption
Produktion av platta bildskärmar
-
Plasmaförstärkt kemisk ångdeposition (PECVD)
-
Lastlåskammare
-
Organisk lysdiod (OLED)
-
Fysisk ångdeposition (PVD)
Produktion av litiumjonbatteri
-
Avgasning
Produktion av halvledare
-
Medel
-
Lätt