I kontinuerlig drift under 13 år - COBRA BC når en milstolpe vid GlobalFoundries Fab 1

Tretton år av kontinuerlig drift. Det innebär över 21.1 miljarder rotationer på 50 Hz. I mitten av januari 2017 nådde en COBRA BC torrgående skruvvakuumpump denna enastående milstolpe vid en halvledarfabrik i Tyskland och levde därmed upp till sitt rykte som en robust och pålitlig pump som är lätt att underhålla
Source: Busch Dienste GmbH
Source: Busch Dienste GmbH

COBRA BC-enheten i fråga har varit i kontinuerlig drift vid GlobalFoundries-produktionsanläggningen i Dresden sedan 2005 och är den COBRA BC-enhet som har varit längst i drift på anläggningen, som är känd som  Fab 1. Fab 1 i Dresden var först med att tillverka mikrochip med koppartrådar i industriell skala – en teknik som numera utgör grunden för halvledarproduktion globalt.

Totalt 194 st COBRA BC 0100 torrgående skruvvakuumpumpar är monterade vid Dresden-anläggningen, som producerar 300 mm kiselskivor för halvledarindustrin. Fyrtiosju av dessa COBRA BC har varit i drift i över 10 år och av dessa har 15 nått milstolpen 100 000 timmar i kontinuerlig drift (över 11 års drift).

COBRA BC vakuumpumpar används i första hand i "load lock applications" för processerna epitaxi och fysisk ångdeposition (PVD), samt för andra föroreningsfria processer vid hantering av kiselskivor och mätning för att upprätthålla kvaliteten i den litografiska processen.

COBRA BC 0100-modellen är en torrgående skruvvakuumpump ur den beprövade COBRA BC-serien och är en kompakt toppmodern lösning för processer med belastningslåsning och ytterligare processkapacitet för mycket krävande tillämpningar som solcellsplattor, platta skärmar och halvledare. Den har utmärkta pulverhanteringsegenskaper tack vare sin unika skruvpumpsdesign.

COBRA BC-serien är även tillgänglig i en COBRA BC Premium Efficiency-klass, som har en energiförbrukning som är upp till 40 % lägre. Premium Efficiency-klassen är baserad på den beprövade teknikplattformen till COBRA BC.

Busch Vakuumpumpar och system har ett serviceteam i Dresden, som består av nio servicetekniker och en teamledare som arbetar i skift dygnet runt, alla dagar i veckan, vilket gör att hundratals installerade vakuumpumparna från Busch har mycket hög tillgänglighet. Dessutom hanterar serviceteamet systemen för avledning av avgaser.

GlobalFoundries är ett av de främsta halvledarföretagen i världen och tillverkar på fabriken i Dresden noder på 40 nm till (inom kort) 22 nm. Dresden-fabriken är den största fabriken för produktion av mikrochip i världen. 


Kategorier
Vill du veta mer?
Kontakta oss direkt (Busch Sverige)
+46 (0)31 338 00 80 Kontakta oss