Компания Busch предлагает широчайший ассортимент вакуумных насосов и систем для технологических линий по производству полупроводников.
Благодаря многолетнему опыту работы специалисты нашей компании способны оказать консультативную поддержку в отношении любых вакуумных систем, используемых на линиях по производству полупроводников: от загрузочных шлюзов до технологических установок, работающих в наиболее неблагоприятных условиях, и централизованных вакуумных систем. Мы предлагаем широчайший ассортимент сухих вакуумных насосов, в котором всегда можно выбрать экономичный вакуумный насос, наиболее отвечающий требованиям заказчика.
Мы прилагаем максимальные усилия с целью выработки оптимальных решений, позволяющих снизить стоимость владения и повысить надежность различных систем, таких как:
- загрузочные шлюзы/транспортировочные камеры;
- установки предварительной очистки;
- системы физического осаждения из паровой фазы (PVD/системы распыления);
- системы ионной имплантации;
- системы травления (гравирования);
- системы химического осаждения из паровой фазы (CVD/LPCVD/PECVD);
- процессы эпитаксии (EPI);
- процессы атомно-слоевого осаждения (ALD).
РЕШЕНИЯ ДЛЯ ЛИНИЙ ПО ПРОИЗВОДСТВУ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA
Сухие винтовые вакуумные насосы серий COBRA BA, BC и DS, выпускаемые нашей компанией, соответствуют специфическим требованиям установок, предназначенных для производства полупроводниковых компонентов.Насосы серии COBRA BA — это винтовые вакуумные насосы с воздушным охлаждением, предназначенные для систем низкого и среднего вакуума. Насосы серии COBRA BC — это высокоэффективные и компактные насосы для систем низкого и среднего вакуума. Насосы серии COBRA DS — оптимальное решение для линий по производству полупроводников, работающих в наиболее неблагоприятных условиях.
Сухие высокоэффективные винтовые вакуумные насосы COBRA BC — Premium Efficiency
Специально разработанные насосы серии COBRA BC Premium Efficiency устанавливают новый стандарт энергоэффективности. Эти насосы производятся с использованием новейшей технологии Busch VacBoost, отвечающей современным требованиям в области энергосбережения и экологической безопасности. Интеллектуальный режим резервирования в сочетании с рядом гибких режимов готовности обеспечивает дополнительные возможности с точки зрения экономии энергии.
Спиральные вакуумные насосы Fossa
Спиральные вакуумные насосы Fossa являются оптимальным решением для создания вакуума среднего уровня в загрузочных шлюзах или транспортировочных камерах, датчиках утечки гелия, масс-спектрометрических системах, электронных микроскопах и других устройствах анализа. Насосы этого типа используются также в технологических процессах переработки газов, требующих высокого уровня чистоты в течение процесса восстановления газа.
УРОВЕНЬ СЕРВИСА BUSCH В ОБЛАСТИ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ — ПОЧУВСТВУЙТЕ РАЗНИЦУ
На базе 12 основных центров сервисного обслуживания вакуумных линий по производству полупроводников, расположенных по всему миру, а также многочисленных подразделений, осуществляющих сервис непосредственно на объектах, мы предлагаем заказчику стабильную, быструю и надежную поддержку: от устранения неисправностей в вакуумных насосах и очистных системах до технического обслуживания, реконструкции или замены компонентов как в сервисном центре, так и на объекте заказчика. Наше предложение включает в себя восстановление вакуумных систем других производителей, в том числе сухих вакуумных насосов, пластинчато-роторных вакуумных насосов, турбомолекулярных вакуумных насосов и криогенных вакуумных насосов.
