Проверенные технологии, проверенная конструкция —
выберите лучшее решение

COBRA DS 5161 / 9161 A

  • Новейшая конструкция винта
  • Эффективность:
    низкие эксплуатационные затраты, минимальное обслуживание, высокая продолжительность безотказной работы
  • Гибкость:
    ориентация на область применения
  • Короткие рабочие циклы:
    быстродействие обеспечивается за счет высокой скорости перекачивания
  • Компактная конструкция
     

Насосы COBRA DS 5161/9161 A — это безмасляные винтовые вакуумные насосы, входящие в линейку проверенных временем насосов серии COBRA DS. Благодаря высокой скорости откачки (в том числе в условиях, когда требуется обеспечить высокую интенсивность удаления водорода) винтовые вакуумные насосы COBRA DS являются оптимальным решением для высокотехнологичных линий по производству фотоэлектрических элементов, плоских панелей и полупроводниковых компонентов. Благодаря применению передовой винтовой вакуумной технологии насосы COBRA DS позволяют осуществлять удаление порошковых сред, а также сред, насыщенных взвесью.

В винтовых вакуумных насосах серии COBRA DS, которые характеризуются непревзойденной эффективностью перекачки газов, осуществляется безмасляное сжатие среды с использованием роторов со специальным профилем. Эти насосы обладают высокой стойкостью к воздействию паров и частиц различного типа. Винты изготавливаются из цельных отливок, что исключает любые зазоры и предотвращает попадание внутрь технологических жидкостей или частиц, тем самым препятствуя коррозии.

В стандартной комплектации насосов COBRA DS 5161/9161 A предусмотрены встроенные вакуумные усилители, обеспечивающие высокую скорость перекачивания и максимальное давление. Насос подкачки и вакуумный усилитель устанавливаются на единую раму, образуя компактную систему.

Насосы COBRA DS 5161/9161 A, комплектуемые высокоэффективными двигателями, обладают превосходной энергоэффективностью. Благодаря малому объему технического обслуживания, низким эксплуатационным затратам, высокой продолжительности непрерывной работы и большому сроку эксплуатации общая стоимость владения таким насосом крайне мала, что является новым стандартом для систем данного класса производительности.

За счет точного соответствия параметров обеспечивается высокая скорость настройки винтовых вакуумных насосов данного типа и их интеграции в существующие системы.

Области применения

  • Высокоплотная плазма на основе технологии химического осаждения из паровой фазы (HDP-CVD)
  • Быстрая термическая обработка (RTP)
  • Осаждение из паровой фазы при давлении несколько ниже атмосферного (SACVD)
  • Химическое осаждение из паров металлоорганических соединений (MOCVD)
  • Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)
  • Осаждение атомных слоев (ALD)

Серия COBRA — это новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с высокими требованиями.

Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):
+7 495 648 67 26 Связаться

Технические характеристики
Насосы COBRA DS 5161/9161 A — это винтовые вакуумные насосы, комбинируемые с вакуумными усилителями. Два винтовых ротора внутри цилиндра винтового вакуумного насоса вращаются в противоположных направлениях. Перекачиваемая среда захватывается между цилиндром и винтовыми камерами, затем сжимается и подается к отверстию для выпуска газов. Во время сжатия оба винтовых ротора не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром. Поэтому в камере сжатия не нужно использовать рабочие жидкости или смазочные материалы. В вакуумных насосах COBRA DS используется эффективное косвенное водяное охлаждение, обеспечивающее управляемое распределение температуры по всему корпусу насоса и позволяющее осуществлять регулирование в зависимости от изменений параметров процесса. Передовая технология винтовых роторов обеспечивает крайне высокую скорость удаления водорода. В насосах COBRA DS 5161/9161 A используются высокоэффективные вакуумные усилители, позволяющие оптимизировать рабочие характеристики системы.


COBRA DS 5161/9161 A
COBRA DS 5161/9161 A
Производительность

Воздух при 20 °C. Допустимое отклонение: ± 10 %

50 Hz 60 Hz
Производительность
Технические данные COBRA DS 5161 A COBRA DS 9161 A
Номинальная производительность m³/h 4300 6160
Предельное остаточное давление hPa (mbar) 0,001 (1·10-3) 0,001 (1·10-3)
Номинальная мощность двигателя форвакуумного насоса kW 15 15
Номинальная мощность двигателя вакуумного усилителя kW 15 20
Расход энергии при предельном остаточном давлении kW 50 Hz 12,5 13
Номинальная частота вращения двигателя форвакуумного насоса min-1 3600 3600
Номинальная частота вращения двигателя вакуумного усилителя min-1 3600 3600
Уровень шума (по ISO 2151) dB(A) < 75 < 75
Расход воды l / min min, 10 min, 11
Азотопотребление l / min 0 – 200 0 – 200
Вес, приблизительно kg 1440 1800
Размеры (L x W x H) mm 1550 x 723 x 1504 1572 x 810 x 1860
Впуск / выпуск газа DN 250 / DN 63 DN 200 / DN 63

загрузки

COBRA DS 5161 / 9161 A

Standard News

Последние новости