COBRA DS 1200/1800 A/A H
Сухие винтовые вакуумные насосы
COBRA DS — новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с повышенными требованиями
Превосходные рабочие характеристики
Усовершенствованная форма винта, превосходные эксплуатационные характеристики, встроенный двухроторный бустерный вакуумный насос, оптимальное решение для установок по производству солнечных систем, плоских панелей и полупроводников, а также для установок с неблагоприятными условиями окружающей среды (горячие газы), например для систем травления и химического осаждения из паровой фазы, превосходное качество работы с порошковыми материалами, винт с танталовым покрытием выдерживает самые тяжелые условия эксплуатации
Эффективность
Низкая стоимость владения, минимальное техническое обслуживание, длительные межсервисные интервалы, высокая работоспособность, высокая пропускная способность для водорода, низкое потребление электроэнергии, возможность управления температурой
Компактность
Интегрируемая конструкция, взрывобезопасный мотор, устанавливаемый непосредственно на насос, форвакуумный насос и двухроторный бустерный вакуумный насос, монтаж на одной компактной несущей раме, низкий уровень вибрации
Технические данные
Рынки и области применения
-
Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)
-
Камеры загрузочных шлюзов
-
Органический светоизлучающий диод (OLED)
-
Конденсация из паровой фазы (PVD)
-
Дегазация
-
Средние
-
Тяжелые
-
Легкие
-
Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)