Проверенные технологии, проверенная конструкция —
выберите лучшее решение

COBRA BC 0600 F

  • Высокоэффективный:
    экономичный, с длительным сроком безотказной работы и низким энергопотреблением
  • Простой в обслуживании:
    большие межсервисные интервалы
  • Надежный:
    надежный в эксплуатации
  • Гибкий в использовании:
    ориентированный на область применения
  • Бесшумный:
    уровень шума < 62 дБА
     

COBRA BC 0600 F представляет собой безмасляный винтовой вакуумный насос высокой надежности серии COBRA BC. Он отличается лучшей в своем классе скоростью вакуумирования при использовании в процессах производства солнечных, плоскопанельных и полупроводниковых систем.

Благодаря своей уникальной конструкции вакуумные винтовые насосы серии COBRA BC обеспечивают высочайшие показатели производительности при работе с порошками и твердыми частицами. Проверенная компактная конструкция объединяет форвакуумный насос и вакуумный усилитель.

Вакуумные насосы серии COBRA отличает низкая стоимость владения. Использование в конструкции высокоэффективных электродвигателей и функции холостого хода повысило показатель энергоэффективности насосов этой серии.

Дополнительная экономия обеспечивается за счет увеличения срока безотказной работы и уменьшения площади в основании, что во многих случаях облегчает процесс модернизации оборудования.

Области применения

  • Загрузочные шлюзы (при определенных условиях)
  • Транспортировка
  • Метрология
  • Микролитография
  • Термовакуумное осаждение из паровой фазы (PVD)
  • Быстрый термальный отжиг (RTA)
  • Отгонка легких фракций/золоудаление
  • Травление оксидов
  • Травление кремния
  • Травление металлических материалов

COBRA –это новый уровень компактных вакуумных насосов для облегченных и тяжелых условий работы.

COBRA –это новый уровень компактных вакуумных насосов для облегченных и тяжелых условий работы.

Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):
+7 495 648 67 26 Связаться

Технические данные

Технические характеристики
Винтовой вакуумный насос COBRA BC 0600 F оснащен двумя винтовыми роторами, которые вращаются в противоположных направлениях. За счет этого перекачиваемая среда сначала оказывается между цилиндром и винтовыми камерами, а затем подается к отверстию для выпуска газов. Винтовой механизм сокращает площади скольжения внутри насоса, тем самым обеспечивая оптимальную работу с порошком и возможности перезапуска.

Новейшая винтовая конструкция обеспечивает снижение потребления электроэнергии по сравнению с обычными винтовыми насосами. Кроме того, уменьшается тепловая нагрузка сжатого газа. В насосах серии BC используется метод прямого охлаждения, в результате чего достигается равномерность температур по всему корпусу насоса и отсутствие непрогретых мест, а также термическая стабильность водяной рубашки. Уникальная конструкция винта с плавающим подшипником исключает возможные неисправности подшипника на входе и уменьшает площадь насоса в основании. В вакуумном насосе COBRA BC 0600 F используется высокопроизводительный вакуумный усилитель, оптимизирующий эксплуатационные показатели системы.

Рисунок
Производительность

Воздух при 20 °C. Погрешность: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Производительность
Технические данные COBRA BC 0600 F
Номинальная производительность 520 m³/h
Номинальная мощность двигателя форвакуумного насоса 1,5 kW
Номинальная мощность двигателя вакуумного усилителя 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 3000 min-1
Предельное остаточное давление 0,003 hPa (mbar)
Расход энергии при предельном остаточном давлении 2,1 / 1,1 kW
Уровень шума (по ISO 2151) 62 dB(A)
Расход воды 3,0 l/min
Азотопотребление 0-50 l/min
Вес, приблизительно 315 kg
Размеры (L x W x H) 933 x 354 x 694 mm
Впуск / выпуск газа DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

Технические данные

Технические характеристики
Винтовой вакуумный насос COBRA BC 0600 F оснащен двумя винтовыми роторами, которые вращаются в противоположных направлениях. За счет этого перекачиваемая среда сначала оказывается между цилиндром и винтовыми камерами, а затем подается к отверстию для выпуска газов. Винтовой механизм сокращает площади скольжения внутри насоса, тем самым обеспечивая оптимальную работу с порошком и возможности перезапуска.

Новейшая винтовая конструкция обеспечивает снижение потребления электроэнергии по сравнению с обычными винтовыми насосами. Кроме того, уменьшается тепловая нагрузка сжатого газа. В насосах серии BC используется метод прямого охлаждения, в результате чего достигается равномерность температур по всему корпусу насоса и отсутствие непрогретых мест, а также термическая стабильность водяной рубашки. Уникальная конструкция винта с плавающим подшипником исключает возможные неисправности подшипника на входе и уменьшает площадь насоса в основании. В вакуумном насосе COBRA BC 0600 F используется высокопроизводительный вакуумный усилитель, оптимизирующий эксплуатационные показатели системы.

Рисунок
Производительность

Воздух при 20 °C. Погрешность: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Производительность
Технические данные COBRA BC 0600 F
Номинальная производительность 520 m³/h
Номинальная мощность двигателя форвакуумного насоса 1,5 kW
Номинальная мощность двигателя вакуумного усилителя 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 3000 min-1
Предельное остаточное давление 0,003 hPa (mbar)
Расход энергии при предельном остаточном давлении 2,1 / 1,1 kW
Уровень шума (по ISO 2151) 62 dB(A)
Расход воды 3,0 l/min
Азотопотребление 0-50 l/min
Вес, приблизительно 315 kg
Размеры (L x W x H) 933 x 354 x 694 mm
Впуск / выпуск газа DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

загрузки

COBRA BC 0600 F

Вы не нашли подходящее оборудование?

Standard News

Последние новости