Проверенные технологии, проверенная конструкция —
выберите лучшее решение

COBRA BA 0100 C

COBRA BA 0100 C представляет собой сухой винтовой вакуумный насос высокой надежности для создания вакуума в загрузочных шлюзах и других подобных ответственных процессах, которые используются при производстве фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. Благодаря эффективному воздушному охлаждению и высочайшей для своего класса скорости работы этот вакуумный насос идеально подходит для любых целей, где требуется эффективное, быстрое и надежное создание вакуума. Для вакуумных насосов COBRA применяется безмасляная и бесконтактная технология, что дает возможность удалять среду с тяжелыми частицами. 

Насос COBRA BA 0100 C оснащается высокоэффективным двигателем, который может переключаться в режим ожидания, тем самым обеспечивая оптимальное энергосбережение. 

За счет компактных размеров насосу COBRA BA 0100 C требуется очень мало места, а благодаря чрезвычайно низкому расходу энергии производственные затраты всегда будут минимальными.

Области применения

  • Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP CVD)
  • Быстрая термическая обработка
  • Химическое осаждение из паровой фазы при субатмосферном давлении (SACVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы под воздействием плазмы (PECVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)
  • Осаждение атомных слоев (ALD)
  • Загрузочные шлюзы
Серия COBRA — это новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с высокими требованиями.

Серия COBRA — это новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с высокими требованиями.

Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):
+7 495 648 67 26 Связаться

Технические данные

COBRA BС 0100 C — это одноступенчатый двухвальный винтовой вакуумный насос. Внутри цилиндра вращаются два винтовых ротора, которые захватывают и сжимают перекачиваемую среду, подаваемую затем к выпускному отверстию для газов. Во время сжатия винтовые роторы не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром, в результате чего нет необходимости в использовании смазочных материалов и рабочих жидкостей в камере сжатия. Благодаря усовершенствованию винтовой конструкции, т. е. наличию одностороннего подшипника, значительно снижается потребление энергии и предотвращаются высокие температуры газа при сжатии. В стандартной комплектации все насосы COBRA BA 0100 C имеют эффективное воздушное охлаждение.
 

Рисунок COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Производительность

Воздух при 20 °C. Допустимое отклонение: ± 10 %

 50 Hz 60 Hz
Производительность
ISO - 50 Hz
ISO - 60 Hz
US - 60 Hz
Технические данные BA 0100 C
Номинальная производительность 85 m³/h
Предельное остаточное давление 0,01 hPa (mbar)
Номинальная мощность двигателя 1,5 kW
Номинальная частота вращения двигателя 3000 min-1
Энергопотребление Предельное остаточное давление 1,1 kW
Уровень шума (по ISO 2151) 58 dB(A)
Азотопотребление 0–50 l/min
Вес, приблизительно 120 kg
Размеры (L x W x H) 634 x 304 x 338 mm
Впуск / выпуск газа DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

Технические данные

COBRA BС 0100 C — это одноступенчатый двухвальный винтовой вакуумный насос. Внутри цилиндра вращаются два винтовых ротора, которые захватывают и сжимают перекачиваемую среду, подаваемую затем к выпускному отверстию для газов. Во время сжатия винтовые роторы не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром, в результате чего нет необходимости в использовании смазочных материалов и рабочих жидкостей в камере сжатия. Благодаря усовершенствованию винтовой конструкции, т. е. наличию одностороннего подшипника, значительно снижается потребление энергии и предотвращаются высокие температуры газа при сжатии. В стандартной комплектации все насосы COBRA BA 0100 C имеют эффективное воздушное охлаждение.
 

Рисунок
COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Производительность

Воздух при 20 °C. Допустимое отклонение: ± 10 %

50 Hz
60 Hz
Производительность
ISO - 50 Hz
ISO - 60 Hz
US - 60 Hz
Технические данные BA 0100 C
Номинальная производительность 85 m³/h
Предельное остаточное давление 0,01 hPa (mbar)
Номинальная мощность двигателя 1,5 kW
Номинальная частота вращения двигателя 3000 min-1
Энергопотребление Предельное остаточное давление 1,1 kW
Уровень шума (по ISO 2151) 58 dB(A)
Азотопотребление 0–50 l/min
Вес, приблизительно 120 kg
Размеры (L x W x H) 634 x 304 x 338 mm
Впуск / выпуск газа DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

загрузки

COBRA BA 0100 C

Вы не нашли подходящее оборудование?

Standard News

Последние новости