Проверенные технологии, проверенная конструкция —
выберите лучшее решение

COBRA BA 0100 C

COBRA BA 0100 C представляет собой сухой винтовой вакуумный насос высокой надежности для создания вакуума в загрузочных шлюзах и других подобных ответственных процессах, которые используются при производстве фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. Благодаря эффективному воздушному охлаждению и высочайшей для своего класса скорости работы этот вакуумный насос идеально подходит для любых целей, где требуется эффективное, быстрое и надежное создание вакуума. Для вакуумных насосов COBRA применяется безмасляная и бесконтактная технология, что дает возможность удалять среду с тяжелыми частицами. 

Насос COBRA BA 0100 C оснащается высокоэффективным двигателем, который может переключаться в режим ожидания, тем самым обеспечивая оптимальное энергосбережение. 

За счет компактных размеров насосу COBRA BA 0100 C требуется очень мало места, а благодаря чрезвычайно низкому расходу энергии производственные затраты всегда будут минимальными.

Области применения

  • Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP CVD)
  • Быстрая термическая обработка
  • Химическое осаждение из паровой фазы при субатмосферном давлении (SACVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы под воздействием плазмы (PECVD)
  • Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)
  • Осаждение атомных слоев (ALD)
  • Загрузочные шлюзы

Серия COBRA — это новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с высокими требованиями.

Хотите узнать больше?
Свяжитесь с нами (Busch Россия):
+7 495 648 67 26 Связаться

Технические спецификации
COBRA BС 0100 C — это одноступенчатый двухвальный винтовой вакуумный насос. Внутри цилиндра вращаются два винтовых ротора, которые захватывают и сжимают перекачиваемую среду, подаваемую затем к выпускному отверстию для газов. Во время сжатия винтовые роторы не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром, в результате чего нет необходимости в использовании смазочных материалов и рабочих жидкостей в камере сжатия. Благодаря усовершенствованию винтовой конструкции, т. е. наличию одностороннего подшипника, значительно снижается потребление энергии и предотвращаются высокие температуры газа при сжатии. В стандартной комплектации все насосы COBRA BA 0100 C имеют эффективное воздушное охлаждение.
 


COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Производительность

Воздух при 20 °C. Допустимое отклонение: ± 10 %

50 Hz 60 Hz
Производительность
Технические данные COBRA BA 0100 C
Номинальная производительность m³/h 50 Hz 85
Предельное остаточное давление hPa (mbar) 0,01
Номинальная мощность двигателя kW 50 Hz 1,5
Энергопотребление Предельное остаточное давление kW 50 Hz 1,1
Номинальная частота вращения двигателя min-1 50 Hz 3000
Уровень шума (по ISO 2151) dB(A) 58
Азотопотребление l / min 50 Hz 0-50
Вес, приблизительно kg 120
Размеры (L x W x H) mm 634 x 304 x 338
Впуск / выпуск газа DN 50 KF / DN 40 KF

загрузки

COBRA BA 0100 C

Standard News

Последние новости