COBRA BA 0100 C представляет собой сухой винтовой вакуумный насос высокой надежности для создания вакуума в загрузочных шлюзах и других подобных ответственных процессах, которые используются при производстве фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. Благодаря эффективному воздушному охлаждению и высочайшей для своего класса скорости работы этот вакуумный насос идеально подходит для любых целей, где требуется эффективное, быстрое и надежное создание вакуума. Для вакуумных насосов COBRA применяется безмасляная и бесконтактная технология, что дает возможность удалять среду с тяжелыми частицами.
Насос COBRA BA 0100 C оснащается высокоэффективным двигателем, который может переключаться в режим ожидания, тем самым обеспечивая оптимальное энергосбережение.
За счет компактных размеров насосу COBRA BA 0100 C требуется очень мало места, а благодаря чрезвычайно низкому расходу энергии производственные затраты всегда будут минимальными.
Области применения
- Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP CVD)
- Быстрая термическая обработка
- Химическое осаждение из паровой фазы при субатмосферном давлении (SACVD)
- Химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD)
- Химическое осаждение из паровой фазы под воздействием плазмы (PECVD)
- Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)
- Осаждение атомных слоев (ALD)
- Загрузочные шлюзы
