Обновите браузер.

Возможно, вы используете устаревшую версию браузера Microsoft Edge. Обновите браузер, чтобы получить доступ ко всем функциям веб-сайта Busch.

  • cobra_ds_0600_e

COBRA DS 0600 E

Сухой винтовой вакуумный насос

COBRA DS — новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с повышенными требованиями

Превосходные рабочие характеристики

Усовершенствованная форма винта, превосходные эксплуатационные характеристики, оптимальное решение для установок химического осаждения из паровой фазы, систем быстрой термообработки или атомно-слоевого осаждения

Эффективность

Низкая стоимость владения, минимальное техническое обслуживание, длительные межсервисные интервалы, высокая работоспособность, эффективное водяное охлаждение косвенного типа, высокая пропускная способность для водорода

Компактность

Интегрируемая конструкция, взрывобезопасный мотор, устанавливаемый непосредственно на насос

Технические данные

Рынки и области применения

Производство дисплеев с плоским экраном
  • Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)
  • Камеры загрузочных шлюзов
  • Органический светоизлучающий диод (OLED)
  • Конденсация из паровой фазы (PVD)
Производство литиево-ионных аккумуляторов
  • Дегазация
Производство полупроводников
  • Средние
  • Тяжелые
  • Легкие
Солнечная энергетика
  • Разливка в слитки
  • Плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD)

Аксессуары

  • Танталовое покрытие для неблагоприятных условий эксплуатации