COBRA BC 0601–1200 A/G
Pompe de vid cu șurub uscate
soluția ideală pentru aplicații ușoare până la medii în industria semiconductorilor
Performanță ridicată
Design avansat cu șurub, construcție în formă de clopot, șuruburi cu autoechilibrare brevetate, calități excelente în funcționare, amplificator de vid integrat, perfect adaptate pentru procese de depunere de straturi atomice la rece, camere de încărcare tampon și camere de transfer, metrologie, litografie, depunere fizică din vapori, recoacere termică rapidă și procese de decapare precum decaparea de oxid, silicon și metal
Eficient
Costuri reduse de proprietate, întreținere minimă, intervale de service mari, durată de funcționare îndelungată, răcire directă cu apă
Compact
Design cu montare pe poziție, motor capsulat cu montare directă, pompă suport și amplificator de vid, combinate pe un cadru de bază compact
Specificații tehnice
Piețe și aplicații
-
Upgrade – adsorbție cu presiune oscilantă
-
Aplicații medii
-
Depunere fizică din vapori (PVD)