O componente básico das bombas de vácuo por difusão é uma unidade de bomba cilíndrica com um fundo que pode ser aquecido.
É utilizado óleo como fluido para a bomba que é aquecido. O vapor deste óleo ascende até ao sistema de bocal e, em seguida, passa através de diversas etapas de vapor e sai deste sistema sob alta pressão. As moléculas no gás de processo são captadas por este vapor e transportadas no sentido descendente, em direção à saída da bomba auxiliar.
O vapor de óleo condensa na superfície interior da unidade de bomba refrigerada a água e é direcionado de novo para o fundo. Com o seu inovador conceito de bocal multietapas, as bombas de vácuo por difusão oferecem uma velocidade de bombagem extremamente elevada e estável.
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