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COBRA DS 1200/1800 A/A H

Bomba de vácuo de parafuso a seco

A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes

Alto desempenho

Design de parafuso avançado, excelentes características de funcionamento, booster de vácuo integrado, perfeitamente adequada para aplicações solares, em painel plano e semicondutores e processos exigentes com gás a elevadas temperaturas, tais como decapagens e deposição de vapor químico (CVD), excelente manipulação de pó, parafuso com revestimento de tântalo para aplicações difíceis

Eficientes

Baixo custo de propriedade, manutenção mínima, intervalos de manutenção longos, elevado tempo de atividade, caudal de hidrogénio elevado, consumo energético reduzido, regulação variável de temperatura

Compactas

Design compacto adaptado ao local de instalação, motor monobloco montado diretamente, bomba primária e booster de vácuo combinados numa estrutura de suporte compacta, nível de vibração reduzido

Especificações técnicas

Mercados e aplicações

Produção de ecrãs planos
  • Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)
  • Câmaras de bloqueio de carga
  • Díodo orgânico emissor de luz (OLED)
  • Deposição física de vapor (PVD)
Fabrico de baterias de iões de lítio
  • Desgaseificação
Produção de semicondutores
  • Médio
  • Exigente
  • Ligeiro
Indústria da energia solar
  • Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)