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COBRA BC 0601–1200 A/G

Bomba de vácuo de parafuso a seco

A solução ideal para aplicações leves a moderadas em semicondutores

Alto desempenho

Design avançado do parafuso, construção em forma de campânula, parafusos autoequilibrantes patenteados, excelentes características de funcionamento, booster de vácuo integrado, perfeitamente adequadas para processos de deposição de camadas atómicas a frio, bloqueio de carga e câmaras de transferência, metrologia, litografia, deposição física de vapor, recozimento térmico rápido e processos de decapagem como óxido, silício e metal

Eficientes

Baixo custo de propriedade, manutenção mínima, intervalos de manutenção longos, elevado tempo de atividade, refrigeração direta por água

Compacta

Design compacto adaptado ao local de instalação, motor monobloco montado diretamente, bomba primária e booster de vácuo combinados numa estrutura de suporte compacta

Especificações técnicas

Mercados e aplicações

Manuseamento de biogás
  • Em atualização – adsorção por alteração de pressão
Produção de semicondutores
  • Médio
Indústria da energia solar
  • Deposição física de vapor (PVD)