Sprawdzona technologia i konstrukcje  –
wybierz najlepsze rozwiązanie

COBRA BA 0100 C

COBRA BA 0100 C to sprawdzona śrubowa pompa próżniowa do opróżniania komór typu load-lock oraz do innych wymagających procesów związanych z wytwarzaniem ogniw fotowoltaicznych, monitorów płaskich i półprzewodników. Dzięki wydajnemu chłodzeniu powietrzem i najwyższej prędkości w tej klasie pompa ta idealnie nadaje się do zastosowań wymagających efektywnego, szybkiego i niezawodnego uzyskiwania próżni. Pompa próżniowa COBRA działa w technologii bezolejowej i bezstykowej, co umożliwia usuwanie mediów o dużej zawartości cząstek.

Pompa COBRA BA 0100 C jest wyposażona w wysokosprawny silnik z trybem gotowości, który zapewnia optymalne zużycie energii.

Dzięki małym wymiarom pompa COBRA BA 0100 C potrzebuje niewiele miejsca, a bardzo niskie zapotrzebowanie na energię pozwala zminimalizować koszty eksploatacji.

Zastosowania

  • Osadzanie CVD w plazmie o wysokiej gęstości (HDP CVD)
  • Szybka obróbka termiczna (RTP)
  • Osadzanie CVD przy obniżonym ciśnieniu (SACVD)
  • Osadzanie CVD metalowo-organiczne (MOCVD)
  • Osadzanie CVD wspomagane plazmą (PECVD)
  • Niskociśnieniowe osadzanie CVD (LPCVD)
  • Osadzanie warstwy atomowej (ALD)
  • Komory typu load-lock
COBRA – nowa generacja pomp próżniowych do wymagających zastosowań.

COBRA – nowa generacja pomp próżniowych do wymagających zastosowań.

Chcesz uzyskać więcej informacji?
Skontaktuj się z nami bezpośrednio (Busch Polska):
+48 (0)54 231 54 00 Skontaktuj się z nami

Dane techniczne

COBRA BA 0100 C to jednostopniowa, dwuwałowa śrubowa pompa próżniowa. Wewnątrz cylindra obracają się dwa wirniki śrubowe, które przechwytują pompowane medium między poszczególnymi spiralami śruby, transportując go do wylotu gazu. W procesie sprężania dwa wirniki śrubowe nie wchodzą w kontakt ani ze sobą, ani z cylindrem, dzięki czemu nie ma konieczności stosowania smarów ani płynów eksploatacyjnych w komorze sprężania. Najnowszym elementem w konstrukcji śruby jest wspornikowy układ wirnika, który znacząco obniża zużycia energii oraz zapobiega wzrostowi temperatury gazu podczas sprężania. Pompa COBRA BA 0100 C jest standardowo wyposażona w skuteczny układ chłodzenia powietrzem.
 

Rysunku COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Prędkość pompowania

Temperatura powietrza 20°C. Tolerancja: ±10% 

 50 Hz 60 Hz
Prędkość pompowania
ISO - 50 Hz
ISO - 60 Hz
US - 60 Hz
Dane techniczne BA 0100 C
Wydajność nominalna 85 m³/h
Ciśnienie końcowe 0,01 hPa (mbar)
Nominalna moc silnika 1,5 kW
Nominalne obroty silnika 3000 min-1
Pobór mocy przy ciśnieniu końcowym 1,1 kW
Poziom hałasu (ISO 2151) 58 dB(A)
Zużycie azotu 0–50 l/min
Waga (w przybliżeniu) 120 kg
Wymiary (L × W × H) 634 x 304 x 338 mm
Wlot/wylot gazu DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

Dane techniczne

COBRA BA 0100 C to jednostopniowa, dwuwałowa śrubowa pompa próżniowa. Wewnątrz cylindra obracają się dwa wirniki śrubowe, które przechwytują pompowane medium między poszczególnymi spiralami śruby, transportując go do wylotu gazu. W procesie sprężania dwa wirniki śrubowe nie wchodzą w kontakt ani ze sobą, ani z cylindrem, dzięki czemu nie ma konieczności stosowania smarów ani płynów eksploatacyjnych w komorze sprężania. Najnowszym elementem w konstrukcji śruby jest wspornikowy układ wirnika, który znacząco obniża zużycia energii oraz zapobiega wzrostowi temperatury gazu podczas sprężania. Pompa COBRA BA 0100 C jest standardowo wyposażona w skuteczny układ chłodzenia powietrzem.
 

Rysunku
COBRA BA 0100 C
COBRA BA 0100 C
Prędkość pompowania

Temperatura powietrza 20°C. Tolerancja: ±10% 

50 Hz
60 Hz
Prędkość pompowania
ISO - 50 Hz
ISO - 60 Hz
US - 60 Hz
Dane techniczne BA 0100 C
Wydajność nominalna 85 m³/h
Ciśnienie końcowe 0,01 hPa (mbar)
Nominalna moc silnika 1,5 kW
Nominalne obroty silnika 3000 min-1
Pobór mocy przy ciśnieniu końcowym 1,1 kW
Poziom hałasu (ISO 2151) 58 dB(A)
Zużycie azotu 0–50 l/min
Waga (w przybliżeniu) 120 kg
Wymiary (L × W × H) 634 x 304 x 338 mm
Wlot/wylot gazu DN 50 KF / DN 40 KF
*COBRA BA 0100 C with variable speed drive

Pobrane pliki

COBRA BA 0100 C

Nie znalazłeś odpowiedniego produktu?

Standard News

Ostatnie aktualności