COBRA BA 0100 C to sprawdzona śrubowa pompa próżniowa do opróżniania komór typu load-lock oraz do innych wymagających procesów związanych z wytwarzaniem ogniw fotowoltaicznych, monitorów płaskich i półprzewodników. Dzięki wydajnemu chłodzeniu powietrzem i najwyższej prędkości w tej klasie pompa ta idealnie nadaje się do zastosowań wymagających efektywnego, szybkiego i niezawodnego uzyskiwania próżni. Pompa próżniowa COBRA działa w technologii bezolejowej i bezstykowej, co umożliwia usuwanie mediów o dużej zawartości cząstek.
Pompa COBRA BA 0100 C jest wyposażona w wysokosprawny silnik z trybem gotowości, który zapewnia optymalne zużycie energii.
Dzięki małym wymiarom pompa COBRA BA 0100 C potrzebuje niewiele miejsca, a bardzo niskie zapotrzebowanie na energię pozwala zminimalizować koszty eksploatacji.
Zastosowania
- Osadzanie CVD w plazmie o wysokiej gęstości (HDP CVD)
- Szybka obróbka termiczna (RTP)
- Osadzanie CVD przy obniżonym ciśnieniu (SACVD)
- Osadzanie CVD metalowo-organiczne (MOCVD)
- Osadzanie CVD wspomagane plazmą (PECVD)
- Niskociśnieniowe osadzanie CVD (LPCVD)
- Osadzanie warstwy atomowej (ALD)
- Komory typu load-lock
