COBRA BC 0601–1200 A/G

Wysoka wydajność

Zaawansowana konstrukcja śruby, konstrukcja w kształcie dzwona, opatentowane śruby samonastawne, znakomita płynność pracy, zintegrowane wspomaganie próżniowe, doskonałe dostosowanie do procesów osadzania warstw atomowych w niskich temperaturach, zadań w komorach typu load-lock i w komorach przejściowych, metrologii, litografii, fizycznego osadzania z fazy gazowej, szybkiego spiekania termicznego i procesów wytrawiania, np. tlenków, silikonu i metali

Wydajność

Niski koszt posiadania, minimalne wymagania w zakresie konserwacji, długie odstępy międzyserwisowe, wysoki czas pracy, bezpośrednie chłodzenie wodą

Kompaktowość

Dopasowana konstrukcja, bezpośrednio zamontowany silnik zespolony, pompa wspomagająca i wspomaganie próżniowe połączone na kompaktowej ramie podstawy