COBRA BC 0101 G
Sucha śrubowa pompa próżniowa
idealne rozwiązanie do lekkich i średnio ciężkich zastosowań w przemyśle półprzewodników
Wysoka wydajność
Zaawansowana konstrukcja śruby, konstrukcja w kształcie dzwona, opatentowane śruby samonastawne, znakomita płynność pracy, zintegrowane wspomaganie próżniowe, doskonałe dostosowanie do zadań w komorach typu load-lock i w komorach przejściowych, metrologii, litografii, fizycznego osadzania z fazy gazowej i szybkiego spiekania termicznego
Wydajność
Inteligentny napęd bezstopniowy, niski koszt posiadania, minimalne wymagania w zakresie konserwacji, wysoki czas pracy, bezpośrednie chłodzenie wodą
Kompaktowość
Dopasowana konstrukcja, bezpośrednio zamontowany silnik zespolony, zintegrowany panel sterowania
Dane techniczne
Rynki i zastosowania
-
Ulepszenie – adsorpcja zmiennociśnieniowa
-
Lekkie