13 lat eksploatacji pompy COBRA BC w fabryce Fab 1 firmy GlobalFoundries

Przez trzynaście lat ciągłej pracy pompa wykonała prawie 21,1 miliarda obrotów z częstotliwością 50 Hz. W połowie stycznia 2017 roku, śrubowa pompa próżniowa COBRA BC, osiągnęła ten niesamowity kamień milowy w fabryce półprzewodników w Niemczech, potwierdzając tym samym swoją reputację w zakresie wytrzymałości, niezawodności i niewielkich wymaganiach konserwacyjnych.
Source: Busch Dienste GmbH
Source: Busch Dienste GmbH

Pompa COBRA BC działa nieprzerwanie od 2005 roku i jest najdłużej eksploatowaną pompą tej serii w zakładzie produkcyjnym Fab 1 firmy GlobalFoundries zlokalizowanym w Dreźnie (Niemcy). Fab 1 w Dreźnie była pierwszą fabryką produkującą mikroprocesory z połączeniami miedzianymi w ilościach przemysłowych — technologii, na bazie której dziś produkuje się półprzewodniki na całym świecie.

W zakładzie produkcyjnym w Dreźnie są zainstalowane 194 śrubowe pompy próżniowe COBRA BC 0100, które są wykorzystywane do produkcji wafli krzemowych o średnicy 300 mm na potrzeby branży półprzewodników. Aż 47 z tych pomp działa nieprzerwanie od ponad dziesięciu lat, a 22 przekroczyło 100 000 godzin pracy (ponad 11 lat eksploatacji).

Pompy próżniowe COBRA BC służą głównie do zastosowań w komorach ze śluzą próżniową w procesach epitaksji i fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD) oraz procesach przeprowadzanych w środowisku wolnym od zanieczyszczeń, takich jak przenoszenie i testowanie wafli w celu zapewnienia jakości w procesach litografii.

The COCOBRA BC 0100 F ze sprawdzonej serii COBRA BC to śrubowa pompa próżniowa wykorzystująca suche śruby, która jest nowoczesnym rozwiązaniem typu Load Lock o dodatkowych możliwościach. Doskonale nadaje się do najbardziej wymagających zastosowań związanych z technologią solarną, monitorami płaskimi i półprzewodnikami. Zapewnia doskonałe możliwości pracy z materiałami sypkimi dzięki wyjątkowej konstrukcji śrubowej.

Seria COBRA BC jest także dostępna w klasie energetycznej Premium Efficiency charakteryzującej się zmniejszonym zużyciem energii, co pozwala obniżyć pobór mocy nawet o 40%. Pompy klasy Premium Efficiency bazują na sprawdzonej platformie technologicznej serii COBRA BC.

Firma Busch Pompy i Systemy Próżniowe ma w Dreźnie zespół serwisowy, składający się z dziewięciu serwisantów i jednego kierownika zespołu, który pracuje w całodobowym systemie zmianowym. Zapewnia to bardzo wysoki poziom dostępności personelu na potrzeby obsługi setek zainstalowanych pomp próżniowych firmy Busch. Ponadto zespół serwisowy zajmuje się też układami redukcji emisji gazów spalinowych..

Firma GlobalFoundries znajduje się światowej czołówce przedsiębiorstw z branży półprzewodnikowej. Zakład Fab 1 produkuje półprzewodniki w procesie technologicznym 40 nm, a w niedalekiej przyszłości także 22 nm. Fabryka w Dreźnie jest największym tego typu obiektem w Europie. 


Kategorie
Chcesz uzyskać więcej informacji?
Skontaktuj się z nami bezpośrednio (Busch Polska):
+48 (0)54 231 54 00 Skontaktuj się z nami