Powlekanie plazmowe

Stan plazmy jest często określany czwartym stanem materii. W warunkach normalnego ciśnienia plazma zostanie utworzona tylko wówczas, gdy gaz zostanie ogrzany do temperatury tak wysokiej, aby jego molekuły mogły zostać przekształcone w jony i elektrony. W przypadku niskich ciśnień plazma może zostać jednak wytworzona bez udziału wysokiej temperatury.

W technologii powlekania plazma jest wykorzystywana w celu nakładania cienkich warstw materiału aktywnego, na przykład w celu wykonania lustra lub nałożenia powłoki zapobiegającej przywieraniu do komponentów.

Stosunkowo delikatne materiały, takie jak tworzywa sztuczne, guma oraz włókna naturalne nie nadają się do procesów przebiegających w wysokich temperaturach. Aby nałożyć powłokę na takie materiały, wykorzystuje się plazmę niskociśnieniową, której zakres temperatury roboczej wynosi od 40°C do 120°C. Obrabiane przedmioty są dokładnie czyszczone, a następnie umieszczane w komorze, w której wytwarza się próżnię. System próżni dostarczający wymagane parametry średnie i wysokie musi być całkowicie niezawodny, a jego specyfikacja musi zgadzać się z wymaganiami procesu powlekania.


Następnie do komory doprowadzany jest gaz procesowy, np. argon. Gaz jest następnie poddawany działaniu energii o wysokiej częstotliwości, mikrofalom lub energii elektrycznej, co wywołuje płomień plazmowy. Powoduje to rozdzielenie materiału powlekanego na drobne cząsteczki, które są następnie przyspieszane. Te cząsteczki uderzają z dużą energią w przedmioty znajdujące się w komorze, tworząc równą powłokę. Lotne produkty uboczne plazmy są usuwane przez pompę próżniową, a jeśli to konieczne można jest zneutralizować za pomocą skrubera.


W celu wytworzenia średnich i wysokich poziomów próżni wymaganych w powlekaniu plazmowym można zastosować szereg produktów firmy Busch. Wiele z modeli śrubowych pomp próżniowych serii COBRA doskonale sprawdza się w tym procesie, również w połączeniu z próżniową pompą Roots'a serii Panda. W przypadku mniejszej instalacji powlekania plazmowego z systemami „load lock" w komorze procesowej można zastosować próżniowe pompy spiralne Fossa w połączeniu z łopatkowymi rotacyjnymi pompami próżniowymi Zebra i próżniowymi pompami molekularnymi Turbo.

Chcesz uzyskać więcej informacji?
Skontaktuj się z nami bezpośrednio (Busch Polska):
+48 (0)54 231 54 00 Skontaktuj się z nami
Chcesz uzyskać więcej informacji?
Skontaktuj się z nami bezpośrednio (Busch Polska):
+48 (0)54 231 54 00 Skontaktuj się z nami

Pasujące produkty

Standard News

Ostatnie aktualności