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COBRA DS 8162/8163 B/F

Tornillo

La nueva generación de bombas de vacío secas para procesos exigentes

Alto rendimiento

Diseño de tornillo avanzado, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para procesos load lock y procesos de recubrimiento de alta capacidad

Eficientes

Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad, eficaz refrigeración del agua, gran capacidad de disolvente

Compactas

Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, bomba primaria y booster de vacío combinados en una bancada compacta, diseño modular

Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Producción de pantallas planas
  • Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
  • Diodo orgánico de emisión de luz (OLED)
  • Cámaras Load Lock
  • Deposición física de vapor (PVD)
Metalurgia
  • Recubrimiento