13 år i drift - COBRA BC oppnår milepæl ved GlobalFoundries Fab 1

Tretten år i kontinuerlig drift. Det tilsvarer over 21.1 milliarder rotasjoner ved 50 Hz. En COBRA BC-tørrskruevakuumpumpe passerte denne bemerkelsesverdige milepælen hos en halvlederprodusent i Tyskland i midten av januar 2017, og lever dermed opp til sitt rykte som robust, pålitelig og enkel å vedlikeholde.
Source: Busch Dienste GmbH
Source: Busch Dienste GmbH

Den aktuelle COBRA BC-enheten har vært i kontinuerlig drift ved GlobalFoundries-produksjonsanlegget i Dresden i Tyskland siden 2005, og er den COBRA BC-enheten som har vært lengst i drift på anlegget som har fått navnet Fab 1. Fab 1 i Dresden var verdens første halvlederfabrikk som produserte mikrobrikker med kobberledninger i industrielle mengder – en teknologi som nå er grunnlaget for halvlederproduksjon over hele verden.

Totalt 194 COBRA BC 0100-tørrskruevakuumpumper er installert på Dresden-anlegget, som produserer 300 mm wafere for halvlederbransjen. 47 av disse COBRA BC-enhetene har vært i kontinuerlig drift i over 10 år, og 15 av COBRA BC-enhetene har passert milepælen på 100 000 driftstimer (over 11 års drift).
COBRA BC-vakuumpumper brukes hovedsakelig i bruksområder med belastningslås ved prosesser innen epitaksi og fysisk dampavsetning (PVD), samt ved andre forurensningsfrie prosesser for waferbehandling- og beregninger for å sikre kvaliteten på litografiprosessen.

COBRA BC 0100 F er en tørrskruevakuumpumpe i den velprøvde COBRA BC-serien, som er en kompakt og toppmoderne belastningslåsløsning, med ekstra prosessevner for de mest krevende bruksområdene innen solceller, flatskjermer og halvledere. Den unike skrupumpedesignen gir disse tørrskruevakuumpumpene en enestående evne til å håndtere pulver.

COBRA BC-serien er også tilgjengelig i en COBRA BC Premium Efficiency-klasse med et redusert energifotavtrykk som gir opptil 40 % lavere forbruk av elektrisk energi. Premium Efficiency-klassen er basert på den velprøvde teknologiplattformen til COBRA BC.

Busch Vakuumpumper- og Systemer har et serviceteam i Dresden som består av ni serviceteknikere og én teamleder. Disse jobber på skift 24 timer i døgnet, sju dager i uken, og de sikrer veldig høy systemtilgjengelighet til de nesten på hundrevis av installerte vakuumpumpene fra Busch. Serviceteamet vedlikeholder i tillegg systemene som reduserer avfallsgasser.

GlobalFoundries er blant verdens ledende halvlederselskaper og produserer ved Dresden-anlegget 40 nm- til (i nær fremtid) 22 nm-noder. Dresden-anlegget er Europas største fabrikk for produksjon av mikrobrikker. 


Kategorier
Vil du vite mer?
Kontakt oss direkte i (Busch Norge):
+47 64 98 98 50 Kontakt oss