Oppdater nettleseren din.

Det ser ut som du bruker en gammel versjon av nettleseren Microsoft Edge. For å få den beste opplevelsen med Busch sin nettside, vennligst oppdater nettleseren din.

  • cobra_ds_5161_9161_a

COBRA DS 5161–9161 A/B/F

Tørre skruevakuumpumper

den nye generasjonen av tørre vakuumpumper for krevende prosesser

Høy ytelse

Avansert skruedesign, utmerkede driftskvaliteter, integrert vakuumbooster, perfekt egnet for kjemisk dampavsetning, hurtig varmeprosessering eller atomlagavsetning

Effektiv

Lav levetidskostnad, minimalt vedlikehold, lange serviceintervaller, høy oppetid, effektiv indirekte vannkjøling, høy hydrogenkapasitet

Kompakt

Fit-in-place-design, direktemontert lukket motor

Tekniske spesifikasjoner

Markeder og bruksområder

Produksjon av flatskjerm
  • Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)
  • Innlastningssluser
  • Organisk lysdiode (OLED)
  • Fysisk dampavsetning (PVD)
Produksjon av litiumion-batterier
  • Avgassing
Halvlederproduksjon
  • Middels
  • Krevende
  • Lav
Solenergiindustri
  • Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)