Oppdater nettleseren din.

Det ser ut som du bruker en gammel versjon av nettleseren Microsoft Edge. For å få den beste opplevelsen med Busch sin nettside, vennligst oppdater nettleseren din.

  • cobra_ds_2610_3161_e

COBRA DS 2610–3161 B/E/F

Tørre skruevakuumpumper

den nye generasjonen av tørre vakuumpumper for krevende prosesser

Høy ytelse

Avansert skruedesign, utmerkede driftskvaliteter, integrert vakuumbooster, perfekt egnet for kjemisk dampavsetning, hurtig varmeprosessering eller atomlagavsetning

Effektiv

Lav levetidskostnad, minimalt vedlikehold, lange serviceintervaller, høy oppetid, effektiv indirekte vannkjøling, høy hydrogenkapasitet

Kompakt

Fit-in-place-design, direktemontert lukket motor, forvakuumpumpe og vakuumbooster kombinert på en kompakt hovedramme

Tekniske spesifikasjoner

Markeder og bruksområder

Produksjon av flatskjerm
  • Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)
  • Innlastningssluser
  • Organisk lysdiode (OLED)
  • Fysisk dampavsetning (PVD)
Produksjon av litiumion-batterier
  • Avgassing
Halvlederproduksjon
  • Middels
  • Krevende
  • Lav
Solenergiindustri
  • Innlastningssluser
  • Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)

Tilbehør

  • Alternativ pulverprosessversjon tilgjengelig (kun for DS 3010 F og DS 3161 B)
  • Alternativt tantalbelegg