Bewezen technologie, bewezen design –
ga voor de beste oplossing

COBRA BC 0600 F

  • Efficiënt:
    rendabel, lange bedrijfstijd, energie-efficiënt
  • Eenvoudig onderhoud: 
    lange onderhoudsintervallen
  • Betrouwbaar:
    bedrijfszeker
  • Flexibel:
    toepassingsgericht
  • Stil:
    geluidsniveau <62 dB(A)
     

De COBRA BC 0600 F is een beproefde droge schroefvacuümpomp uit de COBRA BC reeks. Deze biedt de beste pompsnelheden voor de meest veeleisende zonnepaneel-, flatscreen- en halfgeleidertoepassingen.

Dankzij het unieke schroefontwerp behandelen pompen uit de COBRA BC-reeks poeder en deeltjes op een uitstekende wijze. Het beproefde ontwerp combineert de ondersteunende pomp en de vacuümbooster in een compact frame.

De vacuümpompen uit de COBRA reeks zorgen voor lagere exploitatiekosten, terwijl zeer efficiënte motoren en een standby-functie ervoor zorgen dat energie efficiënter wordt gebruikt. Daarnaast zorgen een langere bedrijfstijd en lagere uitstoot voor nog meer besparingen, waardoor vernieuwingen in veel gevallen makkelijker gerealiseerd kunnen worden.

Toepassingen

  • Load-lock (onder voorwaarden)
  • Transfer
  • Metrologie
  • Lithografie
  • Fysieke dampafzetting (Physical Vapour Deposition, PVD)
  • Snelle thermische gloeiing (Rapid Thermal Annealing, RTP)
  • Stripping/verassing
  • Oxide etsen
  • Silicone etsen
  • Metaal etsen

COBRA – een stap verder in compacte vacuümpompen voor lichte tot zware omstandigheden.

Wilt u meer weten?
We geven u graag meer informatie. Contact Busch Nederland:
+31 (0)348 46 23 00 Neem contact met ons op

Technische specificaties
De COBRA BC 0600 F schroefvacuümpomp werkt met twee schroefrotors die in tegengestelde richting draaien. Hierdoor wordt het te pompen medium opgevangen tussen het pomphuis en de schroefkamers, waarna het naar de gasuitlaat wordt gebracht. Het schroefmechanisme minimaliseert schuivende gebieden binnenin de pomp en heeft daardoor optimale mogelijkheden voor poederverwerking en herstarten.

Het geavanceerde schroefontwerp zorgt voor een lager verbruik van elektrische energie vergeleken met standaard schroefontwerpen. Het levert ook een lagere warmtebelasting op van het gecomprimeerde gas. Pompen uit de BC serie gebruiken een indirecte koelmethode die voor een gelijkmatige temperatuur in het hele pomplichaam zorgen, waardoor koude plekken geëlimineerd worden en een thermisch stabiele watermantel ontstaat.

Het unieke “vliegende lager”-schroefontwerp elimineert problemen met lagers bij de inlaat en zorgt voor een lagere uitstoot.

De COBRA BC 0600 F vacuümpomp maakt gebruik van een krachtige vacuümbooster om de prestaties van het systeem te optimaliseren.


Pompsnelheid

Lucht bij 20 °C. Tolerantie: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Pompsnelheid
Technische gegevens COBRA BC 0600 F
Nominale pompsnelheid m³/h 50 Hz 520
Nominal motor speed mechanical booster (MB) kW 50 Hz 4,0
Nominal motor speed DP min-1 50 Hz 3000
Nominal motor speed MB min-1 50 Hz 3000
Einddruk hPa (mbar) 0,003
Nominaal motorvermogen voorpomp kW 50 Hz 1,5
Energieverbruik bij maximale druk kW 50 Hz 2,1 / 1,1
Geluidsniveau (ISO 2151) dB(A) 50 Hz 62
Waterverbruik l / min 3,0
Droge persluchtverbruik l / min 0-50
Gewicht ca. kg 315
Afmetingen (L x W x H) mm 933 x 354 x 694
Gasinlaat /-uitlaat DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF

Downloads

COBRA BC 0600 F

Standard News

Laatste nieuws